南大光电:参股公司北京科华开发的248nm光刻胶已通过中芯国际等部分客户的认证
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南大光电:参股公司北京科华开发的248nm光刻胶已通过中芯国际等部分客户的认证

2019年05月27日 14:11:55
来源:中国证券网

上证报中国证券网讯 南大光电27日在互动平台上回答投资者提问时表示,北京科华是公司的参股公司,其开发的248nm光刻胶目前已通过包括中芯国际在内的部分客户的认证。公司ArF(193nm)光刻胶处于研发阶段,产业化同步进行,进展顺利。

关于ArF(193nm)光刻胶研发进展情况,公司介绍, “ArF光刻胶开发和产业化项目”获得国家02专项的正式立项,获得中央财政拨款13,285万元,地方配套也在审批中,目前到位5000万元。公司成立了“宁波南大光电材料有限公司”,全力推进“ArF光刻胶开发和产业化项目”的落地实施。截至目前已购置生产用地35亩,厂房图纸设计及其建设工程招标已完成,工厂建设完成了所有桩基工程,重要设备的购置正在洽谈中,项目产业化基地建设顺利。