聚光科技：公司设备可用于半导体制造

2020年5月14日晚间，聚光科技发布投资者关系活动记录表，兴业证券、 信达证券、财通证券、北京芯动能投资、信达澳银基金参与投资者交流活动。公告显示，聚光科技作为国内仪器仪表龙头，是以高端分析仪器技术为核心，拥有多产品线、多领域解决方案；为客户在环境与安全、工业过程、水利水务、实验室等行业领域提供整体解决方案与运营运维服务。公司除环境外，已经在石化、钢铁、稀土、核工业等领域做了很多应用，未来在半导体等新领域拓展。

2019年，在高端分析仪器领域，聚光科技研发投入占营收比约8%，现有研发团队人员1000+人，公司从创立到目前研发投入19亿多，质谱仪填补了国内空白，国外竞争对手丹纳赫、赛默飞、安捷伦等，进口替代空间巨大，国内质谱仪可比广州禾信仪器（科创板IPO终止）。公司已经积累了包含光谱、色谱、质谱、前处理等二十余项新型技术平台，产品系列逐步创新和完善，公司在高端分析仪器业务板块已从技术储备期进入收获期。

谈及半导体制造，公司表示，科学仪器在半导体产业中应用广泛，包括质谱、光谱、色谱、光学、电化学、物性等。据不完全统计，在质谱平台约有15种仪器，在光谱平台约有40种仪器，在色谱平台5种仪器，在光学平台约有28种仪器，在电化学平台约有8种仪器，其它约有36种仪器。从细分市场规模上看，半导体设备市场是极具吸引力的，公司目前会投入资源对半导体行业的仪器需求进行梳理和样机开发。

公司现有的光谱、质谱等检测设备，可以应用于半导体实验室、特种气体的监测等，也可以作为整机设备厂部件，打破国外的封锁。

以前道量检测为例，根据测试目的可以细分为量测和检测。量测主要是对芯片的薄膜厚度、关键尺寸、套准精度等制成尺寸和膜应力、掺杂浓度等材料性质进行测量，以确保其符合参数设计要求；而检测主要用于识别并定位产品表面存在的杂质颗粒沾污、机械划伤、晶圆图案缺陷等问题，公司具有光机电、IPD研发能力、离子光学设计、高速信号处理、微弱信号处理、丰富的算法能力、精密加工、光学/质谱生产能力、完整的生产能力等，介入前道检测的能力匹配度比较高。。

未来，公司将在高端分析仪器领域加强进口替代，研制的高端分析仪器产品可广泛应用于环保、实验室、食品、医药、生命科学、新能源、钢铁、石化、应急安全、半导体等领域。

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