万业企业旗下凯世通：年底量产国产低能大束流离子注入机

随着中国“芯”浪潮的推进，半导体国产替代进程也已进入到白热化状态。万业企业（600641）旗下凯世通半导体作为本土唯一全领域离子注入机企业，稳扎稳打地深耕于国产核心设备行业，致力于将公司打造成中国集成电路装备的大国重器。

近日，东方财经《科创先行者》栏目到访万业企业旗下凯世通进行采访。进一步了解到，凯世通已研发出最新的集成电路离子注入机，其定位是超高先进半导体工艺的低能大束流，将于年底将进行量产。在摩尔定律的推动下，集成电路的线宽将不断缩小以应对元器件集成度大幅提高的要求下，这也意味着凯世通的超高先进工艺设备将帮助芯片制造技术性能升级，进一步印证公司在离子注入工艺领域内遥遥领先。

图：凯世通低能大束流离子注入机

据了解，离子注入在芯片制造前道工艺中是不可或缺的工艺，而低能大束流离子注入机更是半导体制造中最为核心设备之一，其开发难度仅次于光刻机，存在较高的行业竞争壁垒，而凯世通是国内唯一全领域离子注入机公司，产品覆盖集成电路、光伏和AMOLED领域等。

凯世通总经理陈克禄博士表示，“公司自主研发的低能大束流离子注入机不仅要国产替代，而且要领先全球。”目前该产品在低能和大束流等核心指标，特别是束流强度指标上，已达到或超过国外同类产品，因此可更好的降低单位成本消耗，满足国内集成电路行业实际应用。目前该产品也已顺利进入离子注入晶圆验证阶段，将于今年年底将实现量产，这标志着公司具备先进制程的低能大束流离子注入整机工艺验证的能力，未来有望为全球先进制程逻辑、存储、5G射频、摄像头CIS、功率半导体等不同应用领域芯片客户提供离子注入工艺验证服务。

此外，值得关注的是凯世通自主研发的低能大束流集成电路离子注入机荣获了北京市科学技术奖技术进步一等奖。同时，凯世通“高能离子注入机关键技术研究与样机验证”项目也被正式列入上海市2019年度“科技创新行动计划”集成电路领域立项项目清单。因其在集成电路装备领域的战略地位和代表意义，该项目入选了上海市科技小巨人工程，荣膺上海市政府颁发的“上海市科学技术奖”、浦东新区政府颁发的“上海市浦东新区科学技术奖”等诸多奖项。

图：凯世通百级洁净室验证中心

陈克禄博士还介绍到，公司聚焦于集成电路，研发上采取“领先一步”的策略，以离子束技术为核心研发了三种不同类型的离子注入机设备，主要应用在集成电路、光伏、AMOLED领域。同时，陈克禄博士携记者参观了部分样机，其中展示的光伏离子注入机经过了四代迭代，产能已经达到每小时6000片，目前全球市占率超过93%，在光伏行业内具备绝对的竞争优势。

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