装备材料基金入股华卓精科 万业企业布局光刻机双工台

近日，上海半导体装备材料基金宣布已成功入股华卓精科。据华卓精科官网显示，其生产的光刻机双工件台，打破了ASML公司在光刻机工件台上的技术垄断，成为世界唯二掌握双工件台核心技术的公司。万业企业作为装备材料基金的主要LP，通过基金入股，迅速布局光刻机双工台核心设备。

业内人士表示，华卓精科在光刻机双工件台技术上的突破，为我国自主研发65nm 至 28nm 双工件干台式及浸没式光刻机提供了技术赋能，其对于国产核心装备发展具有远大的战略意义。据了解，华卓精科将于近期正式申请登陆科创板。万业企业通过装备材料基金参投华卓精科，也有利于夯实万业企业战略布局国产设备赛道，提升万业企业的产业协同和价值收益。

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