国产半导体传捷报：两款检测细分领域设备出机 客户是中芯国际

国产半导体设备领域传来捷报。

7月13日，上海精测半导体官宣，国内首台12寸独立式光学线宽测量设备（OCD）与国内唯一12寸全自动电子束晶圆缺陷复查设备（Review SEM）顺利出机。

图片来源：上海精测半导体官微

同日，上海精测半导体母公司精测电子在其披露的投资者调研纪要中确认，上述两款产品交付的客户为国内一流先进制程晶圆厂中芯国际。

精测电子在上述调研纪要表示，半导体研发投入巨大，验证周期长，预计2021年部分半导体产品线实现扭亏，但整体半导体业务实现盈利仍需要更多时间和努力。

二级市场方面，与近期A股其他半导体设备公司的强势表现相比，精测电子相对疲弱。如5月11日以来，北方华创和长川科技股价已经翻倍，而精测电子上涨33%。

来源：Wind

核心零部件均为自主研发

上海精测半导体介绍，OCD设备（产品型号为EPROFILE 300FD）主要用于45nm以下、特别是28nm平面CMOS工艺的量测，并可以延伸支持上述先进工艺节点的快速线宽测量。

图片来源：上海精测半导体官微

EPROFILE 300FD测量系统拥有完全自主知识产权，包括宽谱全穆勒椭偏测头、对焦对位系统、系统软件等核心零部件均为自主研发，是真正意义上的高端国产机台。

配套EPROFILE 300FD，上海精测半导体还同时发布了新一代电磁场仿真建模工具J_ProfilerTM V3.0。该款软件允许用户在数百核的高速建模运算服务器上进行OCD建模与库匹配，可以在获取复杂三维纳米结构光谱变化信息后，实时高速的对于纳米结构的各个维度精确值进行计算。

Review SEM是先进的全自动晶圆在线电子束缺陷复查和分类设备，其中配备了基于深度学习的高准确率智能化自动缺陷检测与分类算法。公司从底层开发做起，扫描电子显微镜、配套扫描成像电路等关键核心部件均为自主设计，并用了近两年的时间打通了电子显微镜核心零部件加工的国产供应链。

图片来源：上海精测半导体官微

股东实力雄厚

上海精测半导体成立于2018年7月，主要聚焦半导体前道检测设备领域，现已形成了膜厚/OCD量测设备、电子束量测设备、泛半导体设备三大产品系列。

上述调研纪要显示，上海精测半导体膜厚产品（含独立式膜厚设备）已取得国内一线客户的批量重复订单、OCD量测设备已取得订单并已实现交付，半导体电子束检测设备eView™全自动晶圆缺陷复查设备已正式交付国内客户。其余储备的产品目前正处于研发、认证以及拓展的过程中。

上海精测半导体是精测电子半导体检测业务的重要实施载体之一。精测电子预计2021年部分半导体产品线实现扭亏，但整体半导体业务实现盈利仍需要更多时间和努力。

2020年，上海精测半导体实现营业收入5674万元，亏损9688万元。

上海精测半导体股东阵营实力雄厚。目前，精测电子持有40%的股权，其间接控制50%股权的上海精圆管理咨询合伙企业持有13.33%的股权；国家大基金一期持有13.33%的股权，国家大基金一期和万业企业各持股近20%的上海半导体装备材料产业投资基金合伙企业持有6.67%的股权。

计划增资7.43亿元

今年5月，精测电子完成了募资近15亿元的定增事项。其中，拟投入募集资金7.43亿元用于上海精测半导体研发及产业化建设项目。该项目总投资额为12亿元。

7.43亿元将由精测电子以增资扩股的方式投入上海精测半导体。本次增资完成后，精测电子持有（含间接持股）上海精测半导体的股权比例由46.67%变更为70.79%。

上述项目拟在上海青浦区实施，在现有业务的基础上，通过建设研发生产用房及配套设施、购置设备、引进人才等，提升公司半导体检测设备、泛半导体工艺和检测设备研发及生产能力。

目前，中国半导体检测及量测专用设备行业仍然被国外龙头企业占据主导地位，市场集中度高，国内企业仍然处于弱势地位。现阶段，精测电子的竞争对手主要有科磊半导体、应用材料等。