证券时报e公司讯,莱伯泰科今日官微消息,随着我国半导体产业快速发展,质谱仪作为芯片制造过程中的关键检测设备,其国产替代意义重大。目前,莱伯泰科与国内头部晶圆企业建立了合作关系,计划将LabMS 5000电感耦合等离子体串联四极杆质谱仪辐射到半导体上下游产业单位。莱伯泰科质谱研发部产品经理王娟表示,团队将针对行业特点开发湿电子化学品、实时在线晶圆中超痕量元素等分析方法,为半导体制程中的质量控制提供技术支撑,助力半导体行业发展。
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