深耕近70年 实现国内干式真空泵多项零的突破

中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司。 受访公司/供图

在半导体制造这个“纳米级微观手术”中，干式真空泵扮演着至关重要的角色。干式真空泵能快速、干净地把芯片加工腔室里的空气和各种气体“抽走”，为芯片制造提供工艺所必需的洁净真空环境，完成薄膜沉积、刻蚀、离子注入、光刻等超微加工。

在新三板挂牌的中科仪，依托高真空、超高真空和超洁净真空技术优势，攻克了一系列产业共性、关键技术难题，致力于研制开发先进的干式真空泵、真空仪器设备，产品均达到国际同类产品先进水平，填补了国内同类产品空白。

据了解，中科仪创建于1958年，其前身是中国科学院直属事业单位，是中国领先的半导体制造设备核心部件提供商及真空科学仪器设备供应商，主营业务为干式真空泵和真空科学仪器设备的研发、生产、销售及相关技术服务。中科仪作为我国真空技术领域的领军企业，组建了国家真空仪器装置工程技术研究中心、真空技术装备国家工程实验室及国家企业技术中心，是国家级高新技术企业。

目前，中科仪干式真空泵已在国内多家知名集成电路和光伏巨头企业通过工艺验证并批量使用，打破了欧美及日韩企业对同类产品的长期垄断地位，实现集成电路产业核心部件国产化多项零的突破。

（本版采写记者：安宇飞 本版摄影：宋春雨）