恒运昌真空、北方集成电路创新中心申请电感匹配电路相关专利,检测负载阻抗,调整线圈匝数完成阻抗匹配
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恒运昌真空、北方集成电路创新中心申请电感匹配电路相关专利,检测负载阻抗,调整线圈匝数完成阻抗匹配

来源:新浪证券-红岸工作室

4月28日消息,国家知识产权局信息显示,深圳市恒运昌真空技术股份有限公司、北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司申请一项名为“电感可调节的阻抗匹配电路、阻抗匹配调节方法、存储介质和等离子体产生装置”的专利。申请公布号为CN121907176A,申请号为CN202411469520.7,申请公布日期为2026年4月21日,申请日期为2024年10月21日,发明人乐卫平、姚志毅、林伟群、谢幸光,专利代理机构深圳市世纪恒程知识产权代理事务所,专利代理师何秋石,分类号H03H7/38、H05H1/24、H01J37/32。

专利摘要显示,本发明公开了一种电感可调节的阻抗匹配电路、阻抗匹配方法、存储介质和等离子体产生装置,其中,电感可调节的阻抗匹配电路包括:阻抗检测电路、控制电路以及包括可调节线圈的调节电路;阻抗检测电路用于检测负载的阻抗值,并将其输出至控制电路;控制电路用于根据负载的阻抗值,计算所述阻抗匹配电路对应的电感值,以及确定可调节线圈的对应匝数值;控制电路还用于向调节电路输出匝数调整指令,以使可调节线圈的匝数被调整为对应匝数值。调节电路用于根据匝数调整指令,对应调节可调节线圈的匝数。本发明在检测负载的阻抗后,计算对其进行阻抗匹配需要的电感值以及在调整线圈条件下的线圈匝数,并调整线圈的有效匝数,以完成阻抗匹配。

恒运昌成立于2013年3月19日,于2026年1月28日在上海证券交易所上市,注册地址和办公地址均位于广东省深圳市。该公司是等离子体电源领域新秀,专注等离子体电源相关产品,具备提供核心零部件整体解决方案的能力。

恒运昌所属申万行业为电子 - 半导体 - 半导体设备,涉及小盘均衡、中盘、次新股概念板块。公司主要从事等离子体射频电源系统、等离子体激发装置等产品的研发、生产、销售及技术服务,围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案。

2025年,恒运昌实现营业收入5.29亿元,在行业17家公司中排名第14,与行业第一名北方华创的393.53亿元、第二名中微公司的123.85亿元差距较大,低于行业平均数50.3亿元和中位数14.26亿元。其主营业务中,半导体营收4.04亿元,占比76.40%;一般工业及其他营收1.25亿元,占比23.60%。净利润方面,2025年为1.14亿元,行业排名11/17,对比第一名北方华创的54.09亿元、第二名中微公司的20.64亿元有明显不足,低于行业平均数7.91亿元,也低于中位数1.77亿元。

深圳市恒运昌真空技术股份有限公司近期专利情况如下:

序号 专利名称 专利类型 法律状态 申请号 申请日期 公开(公告)号 公开(公告)日期 发明人
1 一种基于MEMS流量传感器的封装结构 发明专利 实质审查的生效、公布 CN202511718126.7 2025-11-21 CN121783294A 2026-04-03 乐卫平、张文伟、陈宇龙、伍焕灵、宋秋明、贾原、田金鹏、陈韵平、刘涛、张文杰
2 射频电源 外观专利 授权 CN202530576887.8 2025-09-26 CN309908228S 2026-04-10 吴基锴、黄晓东
3 石墨舟的清洗方法、控制装置及清洗设备 发明专利 公布 CN202511222075.9 2025-08-28 CN120984635A 2025-11-21 乐卫平、刘涛、谢幸光、阳先峰、范天赐、吴凤波
4 电感耦合式离子源 外观专利 授权 CN202530508853.5 2025-08-27 CN309893090S 2026-04-03 范天赐、杨博文、阳先峰
5 烧结散热板的功放电路板及其制造方法 发明专利 实质审查的生效、公布 CN202510637416.2 2025-05-16 CN120456433A 2025-08-08 林伟群、章兵、李敏敏、张海强、郭世雨、胡一帆、黄国华、林桂浩
6 离子源 外观专利 授权 CN202530220855.4 2025-04-22 CN309611196S 2025-11-18 杨靖、乐卫平
7 匹配器 外观专利 授权 CN202530200095.0 2025-04-14 CN309612116S 2025-11-18 戴和新、乐卫平
8 一种电感及射频设备 实用新型 授权 CN202520470396.X 2025-03-17 CN223898122U 2026-02-10 戴和新、林伟群
9 一种电感结构及电感线圈安装模具 实用新型 授权 CN202520470388.5 2025-03-17 CN223911506U 2026-02-13 吴基锴、林伟群
10 一种电感结构 实用新型 授权 CN202520461387.4 2025-03-17 CN223911515U 2026-02-13 杨靖、林伟群
11 一种射频匹配器 实用新型 授权 CN202520463818.0 2025-03-17 CN223912462U 2026-02-13 黄晓东、林伟群
12 一种电感结构 实用新型 授权 CN202520465236.6 2025-03-17 CN223911491U 2026-02-13 吴基锴、林伟群
13 射频电源 外观专利 授权 CN202530115868.5 2025-03-12 CN309529756S 2025-10-03 郑孟昌、乐卫平
14 滤波器 外观专利 授权 CN202530083855.4 2025-02-25 CN309530166S 2025-10-03 黄晓东、乐卫平
15 滤波器 外观专利 授权 CN202530083847.X 2025-02-25 CN309530165S 2025-10-03 黄晓东、乐卫平
16 双频匹配器 外观专利 授权 CN202530083845.0 2025-02-25 CN309530164S 2025-10-03 黄晓东、乐卫平
17 射频电源 外观专利 授权 CN202530050883.6 2025-01-24 CN309530134S 2025-10-03 吴基锴、乐卫平
18 滤波器 外观专利 授权 CN202530050861.X 2025-01-24 CN309530133S 2025-10-03 黄晓东、乐卫平
19 功率合成再分配发生器 外观专利 授权 CN202530044831.8 2025-01-22 CN309530126S 2025-10-03 杨靖、乐卫平
20 松不脱安装组件 实用新型 授权 CN202520156074.8 2025-01-22 CN223810010U 2026-01-16 杨靖、黄晓东
21 射频电路 实用新型 授权 CN202520157802.7 2025-01-22 CN223928310U 2026-02-17 林伟群、关广宁、黄磊新
22 一种射频电源的逆变电路及其本振信号调制电路 实用新型 授权 CN202520140574.2 2025-01-21 CN223785972U 2026-01-09 林桂浩、龚城、谢幸光、乐卫平
23 一种射频电源及其逆变器保护电路 实用新型 授权 CN202520140249.6 2025-01-21 CN224021633U 2026-03-20 林桂浩、龚城、谢幸光、乐卫平
24 一种逆变电路及信号调制电路 实用新型 授权 CN202520140395.9 2025-01-21 CN224021634U 2026-03-20 林桂浩、龚城、谢幸光、乐卫平
25 一种用于管道内壁的镀膜装置以及等离子体镀膜系统 实用新型 授权 CN202423044917.X 2024-12-09 CN223481276U 2025-10-28 乐卫平、唐亚海、杨靖、刘涛
26 一种等离子体反应腔体的高压点火启辉装置及阻抗匹配器 实用新型 授权 CN202423027145.9 2024-12-09 CN223694047U 2025-12-19 林伟群、郭启亮、章兵
27 一种等离子体反应腔体的点火启辉装置及阻抗匹配器 实用新型 授权 CN202423026797.0 2024-12-09 CN223694046U 2025-12-19 林伟群、郭启亮、章兵
28 一种用于管道内壁的等离子体喷涂装置 实用新型 授权 CN202423031888.3 2024-12-09 CN223780331U 2026-01-09 乐卫平、林桂浩、吴基锴、刘涛
29 一种阻抗调整器的输出调节电路 实用新型 授权 CN202422987888.4 2024-12-04 CN223928291U 2026-02-17 杨佩铮、林伟群、毛元韬
30 一种阻抗匹配器及等离子体产生设备 实用新型 授权 CN202422545924.1 2024-10-21 CN223322057U 2025-09-09 乐卫平、林伟群、唐亚海、谢幸光
31 电感可调节的阻抗匹配电路、阻抗匹配调节方法、存储介质和等离子体产生装置 发明专利 公布 CN202411469520.7 2024-10-21 CN121907176A 2026-04-21 乐卫平、姚志毅、林伟群、谢幸光
32 点火电路及等离子体产生装置 发明专利 公布 CN202411446892.8 2024-10-16 CN121886998A 2026-04-17 林桂浩、龚城、谢幸光、乐卫平
33 辅助电源电路、射频电源、电路运行方法和存储介质 发明专利 公布 CN202411430706.1 2024-10-14 CN121863834A 2026-04-14 林桂浩、龚城、谢幸光、乐卫平
34 高频阻抗匹配器及等离子体产生装置 实用新型 授权 CN202422341921.6 2024-09-24 CN223141896U 2025-07-22 乐卫平、唐亚海、姚志毅、谢幸光
35 阻抗匹配电路、阻抗匹配方法、存储介质和等离子体产生装置 发明专利 实质审查的生效、公布 CN202411335177.7 2024-09-24 CN121727517A 2026-03-24 乐卫平、姚志毅、林伟群、谢幸光
36 一种防雷保护电路、阻抗匹配器及等离子体产生设备 实用新型 授权 CN202422054607.X 2024-08-22 CN223273857U 2025-08-26 乐卫平、姚志毅、唐亚海、谢幸光
37 温度调节电路、阻抗匹配器及等离子体产生设备 发明专利 实质审查的生效、公布 CN202411152507.9 2024-08-21 CN119051615A 2024-11-29 乐卫平、唐亚海、林伟群、谢幸光
38 阻抗匹配器和等离子体产生装置 实用新型 授权 CN202422040622.9 2024-08-21 CN223246554U 2025-08-19 乐卫平、林伟群、姚志毅、谢幸光
39 匹配器的保护电路及等离子体产生装置 发明专利 公布 CN202411007394.3 2024-07-25 CN118921826A 2024-11-08 乐卫平、林伟群、姚志毅、刘涛
40 阻抗匹配方法、装置及等离子体产生装置 发明专利 公布 CN202411007383.5 2024-07-25 CN118942995A 2024-11-12 乐卫平、林桂浩、唐亚海、姚志毅
41 多段阻抗的匹配器电路及等离子体产生装置 发明专利 实质审查的生效、公布 CN202411007396.2 2024-07-25 CN119010828A 2024-11-22 乐卫平、林伟群、姚志毅、杨佩铮
42 多带通的匹配器及等离子体产生装置 发明专利 实质审查的生效、公布 CN202411007391.X 2024-07-25 CN119010827A 2024-11-22 乐卫平、林伟群、姚志毅、刘涛
43 可切换式阻抗匹配电路及等离子体产生装置 实用新型 授权 CN202421787959.X 2024-07-25 CN222827217U 2025-05-02 乐卫平、林桂浩、唐亚海、黄晓东
44 一种阻抗匹配器及等离子体产生装置 实用新型 授权 CN202421788963.8 2024-07-25 CN222884652U 2025-05-16 乐卫平、林伟群、姚志毅、刘涛
45 阻抗匹配器及等离子体产生装置 实用新型 授权 CN202421788956.8 2024-07-25 CN222916005U 2025-05-27 乐卫平、林伟群、唐亚海、詹宏金
46 一种匹配器及等离子体产生装置 实用新型 授权 CN202421787968.9 2024-07-25 CN222954003U 2025-06-06 乐卫平、唐亚海、姚志毅、杨靖
47 一种阻抗匹配调节方法、装置及等离子体产生设备 发明专利 授权、公布 CN202411007386.9 2024-07-25 CN118942996B 2025-09-19 乐卫平、林伟群、林桂浩、吴基锴
48 射频电源点火控制方法及系统 发明专利 授权、公布 CN202410962415.0 2024-07-18 CN118499817B 2024-11-22 林桂浩、唐亚海、谢幸光
49 射频电源点火控制方法及系统 发明专利 实质审查的生效、公布 CN202411568682.6 2024-07-18 CN119245069A 2025-01-03 林桂浩、唐亚海、谢幸光
50 等离子体产生装置和等离子体处理设备 发明专利 发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布 CN202410835853.0 2024-06-26 CN118400856A 2024-07-26 杨靖、刘涛、乐卫平、宋成、张文杰、谢幸光

天眼查数据显示,北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司成立日期2017年9月25日,法定代表人张昕,所属行业为软件和信息技术服务业,企业规模为大型,注册资本20000万人民币,实缴资本20000万人民币,注册地址为北京市北京经济技术开发区核心区34M3、42M2、34M4地块。北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目23次,财产线索方面有商标信息20条,专利信息617条,拥有行政许可125个。

北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司近期专利情况如下:

序号 专利名称 专利类型 法律状态 申请号 申请日期 公开(公告)号 公开(公告)日期 发明人
1 生产调度方法、装置、设备及计算机程序产品 发明专利 实质审查的生效、公布 CN202610218582.3 2026-02-14 CN121806776A 2026-04-07 尚荣耀、张婷婷
2 一种基于3D堆叠混合计算架构的双环稀疏注意力加速系统及方法 发明专利 公布 CN202610070875.1 2026-01-20 CN121882134A 2026-04-17 马宇飞、周泽成、赵昱翔
3 图像传感器及控制方法 发明专利 实质审查的生效、公布 CN202610054193.1 2026-01-15 CN121792879A 2026-04-03 吴华强、王泽、高滨、杨天昊、唐建石、钱鹤
4 一种具有平衡输出位宽的多精度存内计算电路、存储器及芯片 发明专利 公布 CN202610024409.X 2026-01-09 CN121858064A 2026-04-14 任文捷、叶乐
5 一种基于扫描链架构的存内计算芯片测试装置及方法 发明专利 公布 CN202610024290.6 2026-01-09 CN121862179A 2026-04-14 任文捷、叶乐
6 基于增量缓存的Diffusion Transformer加速方法、系统、设备及介质 发明专利 公布 CN202610024445.6 2026-01-09 CN121902874A 2026-04-21 马宇飞、陈至远、贾逸帆
7 一种基于扩散Transformer的目标生成方法、系统、设备及介质 发明专利 公布 CN202610024431.4 2026-01-09 CN121902873A 2026-04-21 马宇飞、陈至远、李可毅
8 一种表征器件时域可变性的模型构建方法及装置 发明专利 公布 CN202610018233.7 2026-01-07 CN121881947A 2026-04-17 郭思琦、邬志成、张作为、闫梦雯、尹明会、李志强
9 基于动态行列稀疏配置的低功耗数字存内计算电路、存储器及芯片 发明专利 公布 CN202610015673.7 2026-01-07 CN121901146A 2026-04-21 叶相君、叶乐
10 一种支持原生转置的存内计算架构 发明专利 公布 CN202610015866.2 2026-01-07 CN121900723A 2026-04-21 叶相君、叶乐
11 基于离群值分离的高精度浮点存内计算系统及方法 发明专利 公布 CN202610015559.4 2026-01-07 CN121900722A 2026-04-21 叶相君、叶乐
12 一种基于DRAM-RRAM融合算子的特征提取方法 发明专利 公布 CN202512047291.0 2025-12-31 CN121904387A 2026-04-21 王宗巍、高一、蔡一茂、张海粟、鲍霖
13 一种流道结构及液冷冷板 发明专利 公布 CN202512033561.2 2025-12-30 CN121865579A 2026-04-14 宋昌明、吴永波、王谦、蔡坚
14 位线补偿校准调谐系统、电子设备及方法 发明专利 实质审查的生效、公布 CN202511896003.2 2025-12-16 CN121708979A 2026-03-20 任天令、刘航、刘博文、刘厚方、杨轶
15 三维集成封装结构 发明专利 公布 CN202511901255.X 2025-12-16 CN121843577A 2026-04-10 吴华强、王泽、高滨、杨天昊、唐建石、钱鹤
16 三维计算架构及计算方法 发明专利 实质审查的生效、公布 CN202511877023.5 2025-12-12 CN121387814A 2026-01-23 高滨、贾郅平、杨天昊、唐建石、钱鹤、吴华强
17 一种铝掺杂氧化物薄膜及其制备方法 发明专利 公布 CN202511864403.5 2025-12-10 CN121645966A 2026-03-10 明帅强、朱相宇、夏洋、屈芙蓉
18 一种大带宽压电式微机械超声换能器阵列和制备方法 发明专利 公布 CN202511848342.3 2025-12-09 CN121892369A 2026-04-21 卢奕鹏、赵雷、鲍奥成、曹喜信
19 一种无铅压电微机械超声换能器阵列和电子设备 发明专利 公布 CN202511849283.1 2025-12-09 CN121911632A 2026-04-24 卢奕鹏、赵雷、杨冲、曹喜信
20 一种复合金属氧化物薄膜及其制备方法 发明专利 公布 CN202511841487.0 2025-12-08 CN121538620A 2026-02-17 明帅强、戴欣童、夏洋、屈芙蓉、何萌、赵丽莉、李渊
21 稀疏存内计算中图神经网络的部署映射分析系统及应用 发明专利 公布 CN202511835698.3 2025-12-08 CN121543672A 2026-02-17 马宇飞、李国祥、周天航、屈新宇、周泽成
22 一种金属氧化物叠层结构及其制备方法 发明专利 公布 CN202511841976.6 2025-12-08 CN121629364A 2026-03-10 明帅强、戴欣童、夏洋、屈芙蓉、何萌
23 粉类食品质量检测方法、装置、计算机设备及存储介质 发明专利 公布 CN202511828874.0 2025-12-05 CN121656377A 2026-03-13 卢奕鹏、王君豪、王佳禾
24 一种张量计算方法、装置、存储介质和计算机设备 发明专利 公布 CN202511814046.1 2025-12-03 CN121859964A 2026-04-14 刘威、宋晓有、马鸣远、何虎
25 宽电压供电带隙基准源电路、铁电存储器及电路控制方法 发明专利 实质审查的生效、公布 CN202511799405.0 2025-12-02 CN121478055A 2026-02-06 任天令、刘博文、刘航、刘厚方、杨轶
26 数据读写电路、铁电存储器及数据读写方法 发明专利 实质审查的生效、公布 CN202511799397.X 2025-12-02 CN121708978A 2026-03-20 任天令、刘航、任晋奇、刘厚方、杨轶
27 一种微流道及金属填充模板 发明专利 公布 CN202511796700.0 2025-12-02 CN121925035A 2026-04-24 王谦、俞杰勋、宋昌明、茅恺翔、蔡坚
28 三维沟槽铁电电容器紧凑模型建模方法、装置及电子设备 发明专利 公布 CN202511789300.7 2025-12-01 CN121661244A 2026-03-13 任天令、刘航、张亦驰、刘厚方、杨轶
29 基于表面粗糙度监测的光学元件寿命评价方法及系统 发明专利 实质审查的生效、公布 CN202511777234.1 2025-11-28 CN121783505A 2026-04-03 齐月静、苏佳妮、齐威、马敬
30 四层单片三维集成计算装置及其控制方法 发明专利 公布 CN202511744691.0 2025-11-25 CN121681882A 2026-03-17 高滨、贾郅平、杨天昊、唐建石、钱鹤、吴华强
31 基于低温I-V测试的器件界面态表征方法、装置及设备 发明专利 公布 CN202511742687.0 2025-11-25 CN121878407A 2026-04-17 张作为、郭思琦、闫梦雯、邬志成、陈睿、李志强
32 一种多功能镜片装夹装置和方法 发明专利 实质审查的生效、公布 CN202511722634.2 2025-11-21 CN121572203A 2026-02-27 齐威、齐月静、马敬、苏佳妮、金浩、杨舒漫、赵子昂、沈志远、孟璐璐
33 FeFET模型协同仿真方法、装置、设备及存储介质 发明专利 公布 CN202511723163.7 2025-11-21 CN121683655A 2026-03-17 任天令、张亦驰、刘航、刘厚方、杨轶
34 光学元件剩余寿命评估方法、设备及介质 发明专利 实质审查的生效、公布 CN202511722631.9 2025-11-21 CN121706043A 2026-03-20 齐月静、苏佳妮、马敬、齐威
35 一种光学元件服役寿命的加速外推评价方法 发明专利 实质审查的生效、公布 CN202511722638.0 2025-11-21 CN121744836A 2026-03-27 齐月静、苏佳妮、齐威、马敬
36 半导体器件确定两种缺陷沿沟道分布的分析方法和装置 发明专利 实质审查的生效、公布 CN202511725972.1 2025-11-21 CN121784492A 2026-04-03 杨红、孙鸣阳、李清源、刘倩倩、向亮、王晓磊
37 一种转接板及其制备方法、处理器及其制备方法 发明专利 公布 CN202511718763.4 2025-11-21 CN121843533A 2026-04-10 王谦、俞杰勋、宋昌明、茅恺翔、蔡坚
38 一种器件寿命的预测方法、装置、设备及介质 发明专利 公布 CN202511725700.1 2025-11-21 CN121878406A 2026-04-17 杨红、李清源、孙鸣阳、刘倩倩、王晓磊
39 融合物理不可克隆函数与存内计算加密的三维芯片及加密方法 发明专利 实质审查的生效、公布 CN202511712605.8 2025-11-20 CN121580454A 2026-02-27 唐建石、苏彦博、高滨、钱鹤、吴华强
40 一种基于电学激励的缺陷修复方法和系统 发明专利 实质审查的生效、公布 CN202511615058.1 2025-11-05 CN121712320A 2026-03-20 杨红、李清源、孙鸣阳、刘倩倩、王晓磊
41 一种应用于经时击穿的测试结构和测试方法 发明专利 实质审查的生效、公布 CN202511612885.5 2025-11-05 CN121712311A 2026-03-20 刘倩倩、杨红、皇甫一、贾子豪、王晓磊
42 基于RRAM的KAN网络加速方法、存储器及存储系统 发明专利 公布 CN202511603460.8 2025-11-04 CN121662116A 2026-03-13 刘力锋、隋秀琦、冯玉林、周正、黄鹏、康晋锋、张兴
43 融合忆阻器的新型场效应晶体管及其制备方法 发明专利 公布 CN202511585995.7 2025-10-31 CN121645972A 2026-03-10 刘力锋、伊亚玎、冯玉林、周正、黄鹏、康晋锋、张兴
44 异构三维集成计算系统、电子设备及方法 发明专利 实质审查的生效、公布 CN202511567168.5 2025-10-30 CN121301264A 2026-01-09 高滨、秦琦、樊易嘉、姚鹏、张清天、唐建石、钱鹤、吴华强
45 一种半导体用耐磨防静电氟橡胶制备 发明专利 实质审查的生效、公布 CN202511540131.3 2025-10-27 CN121226930A 2025-12-30 林其松、田志扬、於婷、于成功、吴艳丽、周晓阳
46 基于人工智能多模态融合的缺陷分析与工艺优化方法 发明专利 实质审查的生效、公布 CN202511542997.8 2025-10-27 CN121280408A 2026-01-06 高滨、胡晟、吴京泰、王泽、唐建石、钱鹤、吴华强
47 基于人工智能多模态融合的缺陷分析与工艺优化方法 发明专利 实质审查的生效、公布 CN202511542959.2 2025-10-27 CN121414690A 2026-01-27 高滨、胡晟、吴京泰、王泽、唐建石、钱鹤、吴华强
48 一种堆叠电容及其制备方法、半导体器件 发明专利 实质审查的生效、公布 CN202511518442.X 2025-10-22 CN121057233A 2025-12-02 刘效森、杨国山、安彭、柴国星、刘洲彤、周亦康、董秋立
49 一种堆叠电容及其制备方法、半导体器件 发明专利 实质审查的生效、公布 CN202511518421.8 2025-10-22 CN121057232A 2025-12-02 刘效森、杨国山、安彭、柴国星、刘洲彤、周亦康、董秋立
50 一种堆叠电容及其制备方法、半导体器件 发明专利 实质审查的生效、公布 CN202511518471.6 2025-10-22 CN121057234A 2025-12-02 刘效森、杨国山、安彭、柴国星、刘洲彤、周亦康、董秋立

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