半导体真空泵龙头“中科仪”上市，前10名股东，受益公司全名单

2026年4月29日，中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司（简称：中科仪，证券代码：920186）正式开启北交所网上网下申购，成为北交所时隔三年重启网下询价发行的标志性项目。

本次发行吸引了市场高度关注，网上有效申购倍数高达2605.49倍，冻结资金合计1.084万亿元，双双创下北交所历史纪录。

作为国内唯一实现14nm先进逻辑芯片和128层及以上3D NAND存储器工艺批量应用的干式真空泵企业，中科仪的上市不仅打破了欧美日企业长达数十年的垄断，更将为我国半导体产业链自主可控注入核心动力。

真空技术国家队：打破国际垄断的国产替代标杆

中科仪成立于2001年，前身可追溯至1958年的中国科学院沈阳科学仪器厂，是我国真空技术领域的奠基者和主力军。

公司主营业务分为两大板块：一是用于集成电路、光伏电池等泛半导体制造的干式真空泵，二是服务于国家重大科技基础设施的真空科学仪器设备。

作为国内集成电路领域出货量最大的干式真空泵制造企业，中科仪是唯一在清洁、中等、苛刻全工艺环节实现批量应用的国产厂商，彻底填补国内技术空白。

在先进制程突破上，公司产品完全满足14nm先进逻辑芯片以及128层及以上3D NAND存储器工艺要求，已成功进入中芯国际、长江存储等国内主流晶圆厂供应链，实现大批量稳定供货。

研发实力方面，公司坐拥真空技术装备国家工程研究中心等3个国家级研发平台，累计斩获6项国家科学技术进步奖、20余项中科院及省部级科技进步奖，是国内真空技术研发的核心力量。

同时，中科仪还是国家大科学装置核心供应商，深度参与北京正负电子对撞机、上海三代光源等11项国家重大科技基础设施建设，是大科学装置关键真空部件最主要的研制单位，承担着国家重大科研装备国产化的重任。

2022至2025年，公司经营业绩稳步增长，营业收入从6.98亿元攀升至14.0亿元，年均复合增长率达到26.1%；归母净利润从4.98亿元增长至8.44亿元。

值得重点关注的是，公司净利润包含较大比例非经常性损益，主要来源于持有的拓荆科技（688072.SH）和中科信息（300678.SZ）股份的公允价值变动。

截至2025年12月31日，公司持有拓荆科技1.52%股份、中科信息0.80%股份，两者公允价值合计14.87亿元，占公司总资产的39.57%，成为公司资产的重要组成部分。

前20名股东深度解析（截至2025年12月31日）

根据中科仪招股说明书披露信息，公司发行前总股本为17183.91万股，本次公开发行5200万股，发行后总股本变更为22383.91万股。

目前公开信息仅详细披露前十名股东具体情况，第11-20名股东未单独列示，以下为前十名股东及本次IPO战略配售新增股东的全方位解析。

第一名股东为国科科仪控股有限公司，发行前持股6050.52万股，发行前持股比例35.21%，发行后持股比例降至27.03%。

该股东是中国科学院控股有限公司100%控股的国有独资企业，也是中科院科技成果转化核心平台，投资意图以战略控股为主，助力推动真空技术国产化和国家重大科技基础设施建设，持仓成本极低，为公司成立时入股、历经多次改制形成，限售期为36个月。

第二名股东是国家集成电路产业投资基金股份有限公司，发行前持股3389.83万股，发行前持股比例19.73%，发行后持股比例15.14%。

为国家级半导体产业投资基金，财政部为第一大股东，兼具财务投资与战略支持双重意图，旨在保障半导体产业链关键环节自主可控，于2020年1月通过定增入股，持仓成本为4.13元/股，限售期36个月。

第三名股东为宁波浑璞景行创业投资合伙企业(有限合伙)，发行前持股860.64万股，发行前持股比例5.01%，发行后持股比例3.84%。

是浑璞投资旗下专注半导体领域的产业基金，以财务投资为核心目的，分享半导体设备国产替代红利，同样在2020年1月定增入股，持仓成本4.13元/股，目前股份已解禁。

第四名股东是个人投资者雷震霖，发行前持股510.10万股，发行前持股比例2.97%，发行后持股比例2.28%，作为公司早期股东，以长期财务投资为目标，持仓成本极低，股份已解禁，2025年曾减持7.05万股。

第五名股东为公司首席技术专家、前副董事长及董事李昌龙，发行前持股487.22万股，发行前持股比例2.84%，发行后持股比例2.18%，属于股权激励+长期持股，绑定个人与公司发展利益，持仓成本极低，限售期12个月。

第六名股东是公司资深技术专家、前董事会秘书张振厚，发行前持股287.98万股，发行前持股比例1.68%，发行后持股比例1.29%，同样为股权激励+长期持股，持仓成本极低，当前股份已解禁。

第七名股东为公司董事长、法定代表人郭东民，发行前持股286.95万股，发行前持股比例1.67%，发行后持股比例1.28%，以股权激励+战略持股为主，统筹公司整体经营管理，持仓成本极低，限售期12个月。

第八名股东是海南至华投资合伙企业(有限合伙)，发行前持股257.00万股，发行前持股比例1.50%，发行后持股比例1.15%，属于专业财务投资机构，以短期财务投资为目的，于2021-2022年通过股权让，持仓成本约10元/股，股份已解禁。

第九名股东为公司董事、总经理王光玉，发行前持股204.00万股，发行前持股比例1.19%，发行后持股比例0.91%，采取股权激励+战略持股模式，负责公司日常运营，持仓成本极低，限售期12个月，2025年已减持1.56万股。

第十名股东是个人投资者赵科新，发行前持股197.97万股，发行前持股比例1.15%，发行后持股比例0.88%，以短期财务投资为主，2022-2023年通过股权转让，持仓成本约12元/股，股份已解禁，2025年减持0.03万股。

除上述前十名股东外，公司还有两类重要补充股东。

一是员工持股平台，沈阳创芯、沈阳智芯、沈阳智源等员工持股平台合计持有公司约85.92万股，占发行前总股本的0.5%，持仓成本约5.3元/股，股份来源于2020年5月从浑璞景行转让所得。

二是本次IPO战略配售新增股东，发行后分别为兆易创新（603986.SH）持股104.00万股、占比0.46%，屹唐股份（A04368.SH）持股104.00万股、占比0.46%，深圳市创新投资集团有限公司持股104.00万股、占比0.46%，招商证券投资有限公司持股104.00万股、占比0.46%，中科仪高级管理人员与核心员工专项资产管理计划持股104.00万股、占比0.46%，所有战略投资者股份限售期均为12个月。

直接受益上市公司全景

中科仪成功上市登陆资本市场，将为产业链相关上市公司带来可观投资收益与业务增长机遇，整体分为直接持股受益、产业链间接受益两大类别，具体受益情况清晰明确。

一、直接持股受益上市公司

本次IPO战略配售环节，共有3家上市公司或其下属子公司直接参与认购。按照16.21元/股的发行价计算，每家参与主体投资成本约1685.84万元。

结合半导体设备行业可比公司平均动态市盈率，预估中科仪上市后合理股价区间为24-40元/股，对应每家战略投资者可实现投资收益约810-2474万元。

兆易创新通过直接参与战略配售，持股104.00万股，发行后持股比例0.46%，投资收益按上述股价区间核算，扣除初始投资成本后即可实现对应盈利

屹唐股份同样直接参与战略配售，持股数量、持股比例与投资成本和兆易创新一致，收益测算标准完全相同；

招商证券则通过旗下子公司招商证券投资参与战略配售，持股104.00万股，发行后持股比例0.46%，投资收益区间与前两家企业保持一致。

二、间接受益上市公司（产业链合作）

1. 下游核心客户：国产替代加速驱动需求爆发

中科仪作为国内半导体干式真空泵绝对龙头，将深度受益国内晶圆厂与半导体设备厂商扩产浪潮，其下游核心客户也凭借供应链自主可控优势，实现成本优化与交付保障，业务增长潜力显著。

中芯国际（688981.SH）是中科仪核心客户，也是公司14nm先进制程干式真空泵主要采购方，2024年对中科仪采购额占比约15%，预计2026-2028年采购额年均增速超30%，增长核心逻辑在于中芯国际天津、深圳等新产能持续释放，先进制程扩产提速，半导体真空泵国产替代率将从当前30%提升至60%。

长江存储作为中科仪核心客户，是公司128层及以上3D NAND工艺真空泵核心采购方，2024年采购额占比约12%，2026-2028年采购额年均增速预计超40%，主要得益于三期产能建设启动，3D NAND层数向200层以上升级，高端真空泵需求大幅激增。

华虹半导体（01347.HK）是中科仪重要客户，主要采购特色工艺制程真空泵，2024年采购额占比约8%，未来两年年均采购增速预计超25%，依托无锡二期产能释放、特色工艺市场需求持续增长实现业务扩张。

长鑫存储为中科仪重要客户，专注采购DRAM工艺真空泵，2024年采购额占比约7%，2026-2028年采购额年均增速预计超35%，核心驱动力为二期产能建设落地、DRAM产能持续扩张。

北方华创（002371.SZ）与中科仪深度配套，采购公司产品用于自身刻蚀、沉积设备配套，2024年采购额占比约6%，预计未来两年年均采购增速超30%，受益于自身半导体设备出货量持续增长、国产配套率不断提升。

拓荆科技（688072.SH）与中科仪深度合作，采购干式真空泵用于PECVD设备配套，2024年采购额占比约5%，未来两年年均采购增速预计超35%，依托PECVD设备市场份额提升、出货量稳步增长实现需求扩张。

中微公司（688012.SH）与中科仪建立合作配套关系，采购产品用于刻蚀设备配套，2024年采购额占比约4%，预计未来两年年均采购增速超30%，凭借刻蚀设备全球市场份额提升、出货量增长带动采购需求。

隆基绿能（601012.SH）是中科仪光伏领域重要客户，采购干式真空泵用于光伏电池制造，2024年采购额占比约6%，未来两年年均采购增速预计超20%，核心得益于N型TOPCon、HJT电池产能大规模扩张。

2. 上游核心供应商：订单增长带动业绩提升

中科仪本次IPO募资总额8.26亿元，其中7.05亿元将投入高端半导体设备扩产、研发中心建设及干式真空泵产业化项目，预计2027年项目达产后，公司干式真空泵产能将从当前每年1.2万台提升至3万台，产能大幅扩张将直接带动上游精密加工、零部件供应商订单快速增长。

沈阳机床（000410.SZ）为中科仪提供精密加工服务，2024年双方合作采购金额约2000万元，依托中科仪扩产规划，预计2026-2028年采购额年均增长25%以上。中航重机（600765.SH）为中科仪供应精密铸件，2024年采购金额约1500万元，未来两年预计采购额年均增长30%以上，充分受益于中科仪产能扩张与订单放量。

风险提示

中科仪上市及后续发展仍面临多重风险，投资者需理性看待投资机遇。

首先是市场竞争加剧风险，Edwards、Ebara等国际老牌企业占据全球半导体真空泵市场约80%份额，后续或加大中国市场投入，引发行业价格战，导致公司产品售价下滑、毛利率承压。

其次是技术迭代风险，半导体行业工艺持续升级，对真空泵抽速、洁净度、能耗等性能要求不断提高，若公司研发进度跟不上行业技术迭代节奏，将面临市场竞争力下降、份额流失的风险。

同时，公司存在客户集中度风险，前五大客户销售占比约44%，若核心晶圆厂客户扩产计划放缓、采购需求缩减，将直接对公司经营业绩产生不利影响。

此外，非经常性损益波动风险也不容忽视，公司持有大量拓荆科技、中科信息股份，相关标的股价波动将直接导致公司净利润出现大幅波动，影响业绩稳定性。

结语

中科仪的上市，是我国半导体设备国产化进程中的关键里程碑。随着国内晶圆厂产能持续释放、半导体产业链国产替代进程加速，公司有望迎来业绩快速增长期，同时带动上下游半导体真空泵产业链实现全面自主可控与产业升级。