
5月8日消息,国家知识产权局信息显示,深圳市恒运昌真空技术股份有限公司申请一项名为“一种散热电感、匹配器及射频能量传输装置”的专利,授权公告号CN224203922U,授权公告日为2026年5月5日。申请号为CN202520974119.2,申请公布日期为2026年5月5日,申请日期为2025年5月16日,发明人黄晓东、吴基锴、林伟群,专利代理机构北京三聚阳光知识产权代理有限公司,专利代理师秦广成,分类号H01F27/10、H01F27/34、H01F38/14。
专利摘要显示,本实用新型涉及射频功放技术领域,公开了一种散热电感、匹配器及射频能量传输装置,其中,散热电感为空心管结构,包括:依次连通的第一子电感、连接段和第二子电感,所述第一子电感和第二子电感的延伸端分别用于接地;散热电感的第一端为冷却液体的输入口,散热电感的第二端为冷却液体的输出口。本实用新型能够充分利用空心电感的物理结构特性,在有限的空间内利用液体迅速带走线圈因电流通过而产生的热量,冷却液体直接与空心管结构接触,实现高效散热,无需额外部署占用空间的散热系统,减少设备的体积和重量,降低设备的成本,确保匹配器的可靠性与稳定性。
恒运昌成立于2013年3月19日,于2026年1月28日在上海证券交易所上市,注册地址和办公地址均为广东省深圳市。该公司是国内等离子体电源领域佼佼者,专注等离子体电源系统等核心业务,具备全产业链优势,投资价值凸显。
恒运昌主要从事等离子体射频电源系统等产品的研发、生产、销售及技术服务,引进相关核心零部件,提供核心零部件整体解决方案。所属申万行业为电子 - 半导体 - 半导体设备,概念板块涵盖半导体设备、小盘均衡、中芯国际概念。
2025年,恒运昌营业收入5.29亿元,在25家同行中排名21,远低于行业第一名北方华创的393.53亿元和第二名中微公司的123.85亿元,行业平均数为41.44亿元,中位数为14.26亿元。主营业务中,自研产品收入4.15亿元,占比78.38%。净利润1.14亿元,行业排名15,第一名北方华创为54.09亿元,第二名中微公司为20.64亿元,行业平均数6.09亿元,中位数1.77亿元。
深圳市恒运昌真空技术股份有限公司近期专利情况如下:
| 序号 | 专利名称 | 专利类型 | 法律状态 | 申请号 | 申请日期 | 公开(公告)号 | 公开(公告)日期 | 发明人 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 一种基于MEMS流量传感器的封装结构 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511718126.7 | 2025-11-21 | CN121783294A | 2026-04-03 | 乐卫平、张文伟、陈宇龙、伍焕灵、宋秋明、贾原、田金鹏、陈韵平、刘涛、张文杰 |
| 2 | 射频电源 | 外观专利 | 授权 | CN202530576887.8 | 2025-09-26 | CN309908228S | 2026-04-10 | 吴基锴、黄晓东 |
| 3 | 石墨舟的清洗方法、控制装置及清洗设备 | 发明专利 | 公布 | CN202511222075.9 | 2025-08-28 | CN120984635A | 2025-11-21 | 乐卫平、刘涛、谢幸光、阳先峰、范天赐、吴凤波 |
| 4 | 电感耦合式离子源 | 外观专利 | 授权 | CN202530508853.5 | 2025-08-27 | CN309893090S | 2026-04-03 | 范天赐、杨博文、阳先峰 |
| 5 | 基于电场耦合的电压采样电路和射频匹配器 | 实用新型 | 授权 | CN202520985855.8 | 2025-05-19 | CN224203290U | 2026-05-05 | 林伟群、章兵 |
| 6 | 烧结散热板的功放电路板及其制造方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510637416.2 | 2025-05-16 | CN120456433A | 2025-08-08 | 林伟群、章兵、李敏敏、张海强、郭世雨、胡一帆、黄国华、林桂浩 |
| 7 | 一种散热电感、匹配器及射频能量传输装置 | 实用新型 | 授权 | CN202520974119.2 | 2025-05-16 | CN224203922U | 2026-05-05 | 黄晓东、吴基锴、林伟群 |
| 8 | 等离子体激发组件、电磁场产生装置及等离子体产生装置 | 实用新型 | 授权 | CN202520890439.X | 2025-05-07 | CN224192118U | 2026-05-01 | 范天赐、刘涛 |
| 9 | 气体输送组件及等离子体产生装置 | 实用新型 | 授权 | CN202520890014.9 | 2025-05-07 | CN224192116U | 2026-05-01 | 范天赐、刘涛 |
| 10 | 等离子体产生装置及等离子体加工设备 | 实用新型 | 授权 | CN202520899792.4 | 2025-05-07 | CN224205298U | 2026-05-05 | 范天赐、刘涛 |
| 11 | 离子源 | 外观专利 | 授权 | CN202530220855.4 | 2025-04-22 | CN309611196S | 2025-11-18 | 杨靖、乐卫平 |
| 12 | 匹配器 | 外观专利 | 授权 | CN202530200095.0 | 2025-04-14 | CN309612116S | 2025-11-18 | 戴和新、乐卫平 |
| 13 | 电压采样电路和电压采样装置 | 实用新型 | 授权 | CN202520604431.2 | 2025-04-01 | CN224203286U | 2026-05-05 | 林伟群、郭启亮 |
| 14 | 一种电感及射频设备 | 实用新型 | 授权 | CN202520470396.X | 2025-03-17 | CN223898122U | 2026-02-10 | 戴和新、林伟群 |
| 15 | 一种电感结构及电感线圈安装模具 | 实用新型 | 授权 | CN202520470388.5 | 2025-03-17 | CN223911506U | 2026-02-13 | 吴基锴、林伟群 |
| 16 | 一种电感结构 | 实用新型 | 授权 | CN202520461387.4 | 2025-03-17 | CN223911515U | 2026-02-13 | 杨靖、林伟群 |
| 17 | 一种射频匹配器 | 实用新型 | 授权 | CN202520463818.0 | 2025-03-17 | CN223912462U | 2026-02-13 | 黄晓东、林伟群 |
| 18 | 一种电感结构 | 实用新型 | 授权 | CN202520465236.6 | 2025-03-17 | CN223911491U | 2026-02-13 | 吴基锴、林伟群 |
| 19 | 射频电源 | 外观专利 | 授权 | CN202530115868.5 | 2025-03-12 | CN309529756S | 2025-10-03 | 郑孟昌、乐卫平 |
| 20 | 滤波器 | 外观专利 | 授权 | CN202530083855.4 | 2025-02-25 | CN309530166S | 2025-10-03 | 黄晓东、乐卫平 |
| 21 | 滤波器 | 外观专利 | 授权 | CN202530083847.X | 2025-02-25 | CN309530165S | 2025-10-03 | 黄晓东、乐卫平 |
| 22 | 双频匹配器 | 外观专利 | 授权 | CN202530083845.0 | 2025-02-25 | CN309530164S | 2025-10-03 | 黄晓东、乐卫平 |
| 23 | 射频电源 | 外观专利 | 授权 | CN202530050883.6 | 2025-01-24 | CN309530134S | 2025-10-03 | 吴基锴、乐卫平 |
| 24 | 滤波器 | 外观专利 | 授权 | CN202530050861.X | 2025-01-24 | CN309530133S | 2025-10-03 | 黄晓东、乐卫平 |
| 25 | 功率合成再分配发生器 | 外观专利 | 授权 | CN202530044831.8 | 2025-01-22 | CN309530126S | 2025-10-03 | 杨靖、乐卫平 |
| 26 | 松不脱安装组件 | 实用新型 | 授权 | CN202520156074.8 | 2025-01-22 | CN223810010U | 2026-01-16 | 杨靖、黄晓东 |
| 27 | 射频电路 | 实用新型 | 授权 | CN202520157802.7 | 2025-01-22 | CN223928310U | 2026-02-17 | 林伟群、关广宁、黄磊新 |
| 28 | 一种射频电源的逆变电路及其本振信号调制电路 | 实用新型 | 授权 | CN202520140574.2 | 2025-01-21 | CN223785972U | 2026-01-09 | 林桂浩、龚城、谢幸光、乐卫平 |
| 29 | 一种射频电源及其逆变器保护电路 | 实用新型 | 授权 | CN202520140249.6 | 2025-01-21 | CN224021633U | 2026-03-20 | 林桂浩、龚城、谢幸光、乐卫平 |
| 30 | 一种逆变电路及信号调制电路 | 实用新型 | 授权 | CN202520140395.9 | 2025-01-21 | CN224021634U | 2026-03-20 | 林桂浩、龚城、谢幸光、乐卫平 |
| 31 | 一种用于管道内壁的镀膜装置以及等离子体镀膜系统 | 实用新型 | 授权 | CN202423044917.X | 2024-12-09 | CN223481276U | 2025-10-28 | 乐卫平、唐亚海、杨靖、刘涛 |
| 32 | 一种等离子体反应腔体的高压点火启辉装置及阻抗匹配器 | 实用新型 | 授权 | CN202423027145.9 | 2024-12-09 | CN223694047U | 2025-12-19 | 林伟群、郭启亮、章兵 |
| 33 | 一种等离子体反应腔体的点火启辉装置及阻抗匹配器 | 实用新型 | 授权 | CN202423026797.0 | 2024-12-09 | CN223694046U | 2025-12-19 | 林伟群、郭启亮、章兵 |
| 34 | 一种用于管道内壁的等离子体喷涂装置 | 实用新型 | 授权 | CN202423031888.3 | 2024-12-09 | CN223780331U | 2026-01-09 | 乐卫平、林桂浩、吴基锴、刘涛 |
| 35 | 一种阻抗调整器的输出调节电路 | 实用新型 | 授权 | CN202422987888.4 | 2024-12-04 | CN223928291U | 2026-02-17 | 杨佩铮、林伟群、毛元韬 |
| 36 | 一种阻抗匹配器及等离子体产生设备 | 实用新型 | 授权 | CN202422545924.1 | 2024-10-21 | CN223322057U | 2025-09-09 | 乐卫平、林伟群、唐亚海、谢幸光 |
| 37 | 电感可调节的阻抗匹配电路、阻抗匹配调节方法、存储介质和等离子体产生装置 | 发明专利 | 公布 | CN202411469520.7 | 2024-10-21 | CN121907176A | 2026-04-21 | 乐卫平、姚志毅、林伟群、谢幸光 |
| 38 | 点火电路及等离子体产生装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411446892.8 | 2024-10-16 | CN121886998A | 2026-04-17 | 林桂浩、龚城、谢幸光、乐卫平 |
| 39 | 辅助电源电路、射频电源、电路运行方法和存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411430706.1 | 2024-10-14 | CN121863834A | 2026-04-14 | 林桂浩、龚城、谢幸光、乐卫平 |
| 40 | 高频阻抗匹配器及等离子体产生装置 | 实用新型 | 授权 | CN202422341921.6 | 2024-09-24 | CN223141896U | 2025-07-22 | 乐卫平、唐亚海、姚志毅、谢幸光 |
| 41 | 阻抗匹配电路、阻抗匹配方法、存储介质和等离子体产生装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411335177.7 | 2024-09-24 | CN121727517A | 2026-03-24 | 乐卫平、姚志毅、林伟群、谢幸光 |
| 42 | 一种防雷保护电路、阻抗匹配器及等离子体产生设备 | 实用新型 | 授权 | CN202422054607.X | 2024-08-22 | CN223273857U | 2025-08-26 | 乐卫平、姚志毅、唐亚海、谢幸光 |
| 43 | 温度调节电路、阻抗匹配器及等离子体产生设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411152507.9 | 2024-08-21 | CN119051615A | 2024-11-29 | 乐卫平、唐亚海、林伟群、谢幸光 |
| 44 | 阻抗匹配器和等离子体产生装置 | 实用新型 | 授权 | CN202422040622.9 | 2024-08-21 | CN223246554U | 2025-08-19 | 乐卫平、林伟群、姚志毅、谢幸光 |
| 45 | 匹配器的保护电路及等离子体产生装置 | 发明专利 | 公布 | CN202411007394.3 | 2024-07-25 | CN118921826A | 2024-11-08 | 乐卫平、林伟群、姚志毅、刘涛 |
| 46 | 阻抗匹配方法、装置及等离子体产生装置 | 发明专利 | 公布 | CN202411007383.5 | 2024-07-25 | CN118942995A | 2024-11-12 | 乐卫平、林桂浩、唐亚海、姚志毅 |
| 47 | 多段阻抗的匹配器电路及等离子体产生装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411007396.2 | 2024-07-25 | CN119010828A | 2024-11-22 | 乐卫平、林伟群、姚志毅、杨佩铮 |
| 48 | 多带通的匹配器及等离子体产生装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411007391.X | 2024-07-25 | CN119010827A | 2024-11-22 | 乐卫平、林伟群、姚志毅、刘涛 |
| 49 | 可切换式阻抗匹配电路及等离子体产生装置 | 实用新型 | 授权 | CN202421787959.X | 2024-07-25 | CN222827217U | 2025-05-02 | 乐卫平、林桂浩、唐亚海、黄晓东 |
| 50 | 一种阻抗匹配器及等离子体产生装置 | 实用新型 | 授权 | CN202421788963.8 | 2024-07-25 | CN222884652U | 2025-05-16 | 乐卫平、林伟群、姚志毅、刘涛 |