恒运昌真空取得散热电感相关专利,利用空心电感结构,液体高效散热降成本
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恒运昌真空取得散热电感相关专利,利用空心电感结构,液体高效散热降成本

5月8日消息,国家知识产权局信息显示,深圳市恒运昌真空技术股份有限公司申请一项名为“一种散热电感、匹配器及射频能量传输装置”的专利,授权公告号CN224203922U,授权公告日为2026年5月5日。申请号为CN202520974119.2,申请公布日期为2026年5月5日,申请日期为2025年5月16日,发明人黄晓东、吴基锴、林伟群,专利代理机构北京三聚阳光知识产权代理有限公司,专利代理师秦广成,分类号H01F27/10、H01F27/34、H01F38/14。

专利摘要显示,本实用新型涉及射频功放技术领域,公开了一种散热电感、匹配器及射频能量传输装置,其中,散热电感为空心管结构,包括:依次连通的第一子电感、连接段和第二子电感,所述第一子电感和第二子电感的延伸端分别用于接地;散热电感的第一端为冷却液体的输入口,散热电感的第二端为冷却液体的输出口。本实用新型能够充分利用空心电感的物理结构特性,在有限的空间内利用液体迅速带走线圈因电流通过而产生的热量,冷却液体直接与空心管结构接触,实现高效散热,无需额外部署占用空间的散热系统,减少设备的体积和重量,降低设备的成本,确保匹配器的可靠性与稳定性。

恒运昌成立于2013年3月19日,于2026年1月28日在上海证券交易所上市,注册地址和办公地址均为广东省深圳市。该公司是国内等离子体电源领域佼佼者,专注等离子体电源系统等核心业务,具备全产业链优势,投资价值凸显。

恒运昌主要从事等离子体射频电源系统等产品的研发、生产、销售及技术服务,引进相关核心零部件,提供核心零部件整体解决方案。所属申万行业为电子 - 半导体 - 半导体设备,概念板块涵盖半导体设备、小盘均衡、中芯国际概念。

2025年,恒运昌营业收入5.29亿元,在25家同行中排名21,远低于行业第一名北方华创的393.53亿元和第二名中微公司的123.85亿元,行业平均数为41.44亿元,中位数为14.26亿元。主营业务中,自研产品收入4.15亿元,占比78.38%。净利润1.14亿元,行业排名15,第一名北方华创为54.09亿元,第二名中微公司为20.64亿元,行业平均数6.09亿元,中位数1.77亿元。

深圳市恒运昌真空技术股份有限公司近期专利情况如下:

序号 专利名称 专利类型 法律状态 申请号 申请日期 公开(公告)号 公开(公告)日期 发明人
1 一种基于MEMS流量传感器的封装结构 发明专利 实质审查的生效、公布 CN202511718126.7 2025-11-21 CN121783294A 2026-04-03 乐卫平、张文伟、陈宇龙、伍焕灵、宋秋明、贾原、田金鹏、陈韵平、刘涛、张文杰
2 射频电源 外观专利 授权 CN202530576887.8 2025-09-26 CN309908228S 2026-04-10 吴基锴、黄晓东
3 石墨舟的清洗方法、控制装置及清洗设备 发明专利 公布 CN202511222075.9 2025-08-28 CN120984635A 2025-11-21 乐卫平、刘涛、谢幸光、阳先峰、范天赐、吴凤波
4 电感耦合式离子源 外观专利 授权 CN202530508853.5 2025-08-27 CN309893090S 2026-04-03 范天赐、杨博文、阳先峰
5 基于电场耦合的电压采样电路和射频匹配器 实用新型 授权 CN202520985855.8 2025-05-19 CN224203290U 2026-05-05 林伟群、章兵
6 烧结散热板的功放电路板及其制造方法 发明专利 实质审查的生效、公布 CN202510637416.2 2025-05-16 CN120456433A 2025-08-08 林伟群、章兵、李敏敏、张海强、郭世雨、胡一帆、黄国华、林桂浩
7 一种散热电感、匹配器及射频能量传输装置 实用新型 授权 CN202520974119.2 2025-05-16 CN224203922U 2026-05-05 黄晓东、吴基锴、林伟群
8 等离子体激发组件、电磁场产生装置及等离子体产生装置 实用新型 授权 CN202520890439.X 2025-05-07 CN224192118U 2026-05-01 范天赐、刘涛
9 气体输送组件及等离子体产生装置 实用新型 授权 CN202520890014.9 2025-05-07 CN224192116U 2026-05-01 范天赐、刘涛
10 等离子体产生装置及等离子体加工设备 实用新型 授权 CN202520899792.4 2025-05-07 CN224205298U 2026-05-05 范天赐、刘涛
11 离子源 外观专利 授权 CN202530220855.4 2025-04-22 CN309611196S 2025-11-18 杨靖、乐卫平
12 匹配器 外观专利 授权 CN202530200095.0 2025-04-14 CN309612116S 2025-11-18 戴和新、乐卫平
13 电压采样电路和电压采样装置 实用新型 授权 CN202520604431.2 2025-04-01 CN224203286U 2026-05-05 林伟群、郭启亮
14 一种电感及射频设备 实用新型 授权 CN202520470396.X 2025-03-17 CN223898122U 2026-02-10 戴和新、林伟群
15 一种电感结构及电感线圈安装模具 实用新型 授权 CN202520470388.5 2025-03-17 CN223911506U 2026-02-13 吴基锴、林伟群
16 一种电感结构 实用新型 授权 CN202520461387.4 2025-03-17 CN223911515U 2026-02-13 杨靖、林伟群
17 一种射频匹配器 实用新型 授权 CN202520463818.0 2025-03-17 CN223912462U 2026-02-13 黄晓东、林伟群
18 一种电感结构 实用新型 授权 CN202520465236.6 2025-03-17 CN223911491U 2026-02-13 吴基锴、林伟群
19 射频电源 外观专利 授权 CN202530115868.5 2025-03-12 CN309529756S 2025-10-03 郑孟昌、乐卫平
20 滤波器 外观专利 授权 CN202530083855.4 2025-02-25 CN309530166S 2025-10-03 黄晓东、乐卫平
21 滤波器 外观专利 授权 CN202530083847.X 2025-02-25 CN309530165S 2025-10-03 黄晓东、乐卫平
22 双频匹配器 外观专利 授权 CN202530083845.0 2025-02-25 CN309530164S 2025-10-03 黄晓东、乐卫平
23 射频电源 外观专利 授权 CN202530050883.6 2025-01-24 CN309530134S 2025-10-03 吴基锴、乐卫平
24 滤波器 外观专利 授权 CN202530050861.X 2025-01-24 CN309530133S 2025-10-03 黄晓东、乐卫平
25 功率合成再分配发生器 外观专利 授权 CN202530044831.8 2025-01-22 CN309530126S 2025-10-03 杨靖、乐卫平
26 松不脱安装组件 实用新型 授权 CN202520156074.8 2025-01-22 CN223810010U 2026-01-16 杨靖、黄晓东
27 射频电路 实用新型 授权 CN202520157802.7 2025-01-22 CN223928310U 2026-02-17 林伟群、关广宁、黄磊新
28 一种射频电源的逆变电路及其本振信号调制电路 实用新型 授权 CN202520140574.2 2025-01-21 CN223785972U 2026-01-09 林桂浩、龚城、谢幸光、乐卫平
29 一种射频电源及其逆变器保护电路 实用新型 授权 CN202520140249.6 2025-01-21 CN224021633U 2026-03-20 林桂浩、龚城、谢幸光、乐卫平
30 一种逆变电路及信号调制电路 实用新型 授权 CN202520140395.9 2025-01-21 CN224021634U 2026-03-20 林桂浩、龚城、谢幸光、乐卫平
31 一种用于管道内壁的镀膜装置以及等离子体镀膜系统 实用新型 授权 CN202423044917.X 2024-12-09 CN223481276U 2025-10-28 乐卫平、唐亚海、杨靖、刘涛
32 一种等离子体反应腔体的高压点火启辉装置及阻抗匹配器 实用新型 授权 CN202423027145.9 2024-12-09 CN223694047U 2025-12-19 林伟群、郭启亮、章兵
33 一种等离子体反应腔体的点火启辉装置及阻抗匹配器 实用新型 授权 CN202423026797.0 2024-12-09 CN223694046U 2025-12-19 林伟群、郭启亮、章兵
34 一种用于管道内壁的等离子体喷涂装置 实用新型 授权 CN202423031888.3 2024-12-09 CN223780331U 2026-01-09 乐卫平、林桂浩、吴基锴、刘涛
35 一种阻抗调整器的输出调节电路 实用新型 授权 CN202422987888.4 2024-12-04 CN223928291U 2026-02-17 杨佩铮、林伟群、毛元韬
36 一种阻抗匹配器及等离子体产生设备 实用新型 授权 CN202422545924.1 2024-10-21 CN223322057U 2025-09-09 乐卫平、林伟群、唐亚海、谢幸光
37 电感可调节的阻抗匹配电路、阻抗匹配调节方法、存储介质和等离子体产生装置 发明专利 公布 CN202411469520.7 2024-10-21 CN121907176A 2026-04-21 乐卫平、姚志毅、林伟群、谢幸光
38 点火电路及等离子体产生装置 发明专利 实质审查的生效、公布 CN202411446892.8 2024-10-16 CN121886998A 2026-04-17 林桂浩、龚城、谢幸光、乐卫平
39 辅助电源电路、射频电源、电路运行方法和存储介质 发明专利 实质审查的生效、公布 CN202411430706.1 2024-10-14 CN121863834A 2026-04-14 林桂浩、龚城、谢幸光、乐卫平
40 高频阻抗匹配器及等离子体产生装置 实用新型 授权 CN202422341921.6 2024-09-24 CN223141896U 2025-07-22 乐卫平、唐亚海、姚志毅、谢幸光
41 阻抗匹配电路、阻抗匹配方法、存储介质和等离子体产生装置 发明专利 实质审查的生效、公布 CN202411335177.7 2024-09-24 CN121727517A 2026-03-24 乐卫平、姚志毅、林伟群、谢幸光
42 一种防雷保护电路、阻抗匹配器及等离子体产生设备 实用新型 授权 CN202422054607.X 2024-08-22 CN223273857U 2025-08-26 乐卫平、姚志毅、唐亚海、谢幸光
43 温度调节电路、阻抗匹配器及等离子体产生设备 发明专利 实质审查的生效、公布 CN202411152507.9 2024-08-21 CN119051615A 2024-11-29 乐卫平、唐亚海、林伟群、谢幸光
44 阻抗匹配器和等离子体产生装置 实用新型 授权 CN202422040622.9 2024-08-21 CN223246554U 2025-08-19 乐卫平、林伟群、姚志毅、谢幸光
45 匹配器的保护电路及等离子体产生装置 发明专利 公布 CN202411007394.3 2024-07-25 CN118921826A 2024-11-08 乐卫平、林伟群、姚志毅、刘涛
46 阻抗匹配方法、装置及等离子体产生装置 发明专利 公布 CN202411007383.5 2024-07-25 CN118942995A 2024-11-12 乐卫平、林桂浩、唐亚海、姚志毅
47 多段阻抗的匹配器电路及等离子体产生装置 发明专利 实质审查的生效、公布 CN202411007396.2 2024-07-25 CN119010828A 2024-11-22 乐卫平、林伟群、姚志毅、杨佩铮
48 多带通的匹配器及等离子体产生装置 发明专利 实质审查的生效、公布 CN202411007391.X 2024-07-25 CN119010827A 2024-11-22 乐卫平、林伟群、姚志毅、刘涛
49 可切换式阻抗匹配电路及等离子体产生装置 实用新型 授权 CN202421787959.X 2024-07-25 CN222827217U 2025-05-02 乐卫平、林桂浩、唐亚海、黄晓东
50 一种阻抗匹配器及等离子体产生装置 实用新型 授权 CN202421788963.8 2024-07-25 CN222884652U 2025-05-16 乐卫平、林伟群、姚志毅、刘涛

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