奕瑞科技：QRGA系列可为半导体工艺提供实时痕量气体监测与等离子体状态预警
人民财讯9月16日电，9月16日，在半年度业绩会上，奕瑞科技董事长、总经理顾铁介绍，随着半导体制造产能的扩张，同步放大了工艺环节对真空环境与气体成分管控的要求。面向长期由欧美日厂商主导的RGA市场，公司基于电真空技术与真空测量的长期积累，推出QRGA-01S、QRGA-CIS、QRGA-HPR三个系列的工艺管控级产品及配套电弧检测系统，为半导体工艺提供实时痕量气体监测与等离子体状态预警，该产品及相关耗材已在多家半导体客户完成验证并实现销售。预计2026年全年实现数千万元的收入。
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