恒运昌取得远程等离子体源相关专利,该外观产品用于产生等离子体

恒运昌取得远程等离子体源相关专利,该外观产品用于产生等离子体

来源:新浪证券-红岸工作室

9月20日消息,国家知识产权局信息显示,深圳市恒运昌真空技术股份有限公司申请一项名为“远程等离子体源”的专利,授权公告号CN310212598S,授权公告日为2026年9月18日。申请号为CN202630123945.6,申请公布日期为2026年9月18日,申请日期为2026年3月19日,发明人范天赐、丁鹏、刘景锋、麦峻铭、何志军、乐卫平,专利代理机构北京利卜知识产权代理有限公司,专利代理师刘子敬,分类号13-02(15)。

专利摘要显示,1.本外观设计产品的名称:远程等离子体源。2.本外观设计产品的用途:用于产生等离子体。3.本外观设计产品的设计要点:在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片:立体图。

恒运昌成立于2013年3月19日,将于2026年1月28日登陆上海证券交易所上市,公司注册及办公地点均位于广东省深圳市,是国内等离子体电源领域专精特新标杆企业,核心产品技术壁垒突出。

公司主营业务覆盖等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源及相关配件的研发、生产、销售与技术服务,同时引入真空获得、流体控制等核心零部件,围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案,所属申万行业为电子-半导体-半导体设备,概念板块涵盖小盘均衡、专精特新、半导体设备。

2026年上半年,恒运昌实现营业收入2.78亿元,在27家同行业可比公司中排名第23位,同期行业营收第一名北方华创达201.61亿元、第二名中微公司为66.91亿元,行业营收平均数为21亿元、中位数为8.97亿元;营收结构中自研产品贡献2.43亿元,占比87.20%,引进产品实现收入3136.29万元,占比11.27%,技术服务收入427.57万元,占比1.54%。当期公司实现净利润5235.05万元,行业排名第18位,同期行业净利润第一名北方华创为32.29亿元、第二名中微公司达27.97亿元,行业净利润平均数为4.99亿元、中位数为1.57亿元。

指标类别 具体指标 数值情况 行业排位/对比基准
营收表现 2026年上半年营业收入 2.78亿元 23/27,低于行业均值21亿元、中位数8.97亿元
营收结构 自研产品收入及占比 2.43亿元,87.20% 核心营收来源
营收结构 引进产品收入及占比 3136.29万元,11.27% 配套业务组成
营收结构 技术服务收入及占比 427.57万元,1.54% 增值服务板块
净利润表现 2026年上半年净利润 5235.05万元 18/27,低于行业均值4.99亿元、中位数1.57亿元

深圳市恒运昌真空技术股份有限公司近期专利情况如下:

序号 专利名称 专利类型 法律状态 申请号 申请日期 公开(公告)号 公开(公告)日期 发明人
1 射频信号校正方法和装置、电子设备及计算机可读存储介质 发明专利 实质审查的生效、公布 CN202610866517.1 2026-06-16 CN122488883A 2026-07-31 林伟群、唐亚海、奥维迪乌·丹尼尔·斯坦、乐卫平、姚志毅
2 阻抗匹配方法和装置、电子设备及计算机可读存储介质 发明专利 授权 CN202610866535.X 2026-06-16 CN122431476B 2026-09-18 林伟群、唐亚海、奥维迪乌·丹尼尔·斯坦、乐卫平、姚志毅
3 阻抗匹配方法和装置、电子设备及计算机可读存储介质 发明专利 授权 CN202610866531.1 2026-06-16 CN122387258B 2026-09-18 林伟群、唐亚海、奥维迪乌·丹尼尔·斯坦、乐卫平、姚志毅
4 射频电源的最大梯度角确定方法及装置 发明专利 实质审查的生效、公布 CN202610655069.0 2026-05-13 CN122218558A 2026-06-16 林伟群、乐卫平、黄永镇、钟睿
5 增益定标方法、动态阻抗测试方法、设备及介质 发明专利 授权 CN202610655279.X 2026-05-13 CN122172062B 2026-08-07 林伟群、乐卫平、黄永镇、钟睿
6 射频电源的数据更新方法、射频电源及射频等离子体电源系统 发明专利 实质审查的生效、公布 CN202610502496.5 2026-04-15 CN122372552A 2026-07-10 林伟群、乐卫平、唐亚海、刘雄、徐希睿、张文涛
7 射频电源的数据更新方法、射频电源及射频等离子体电源系统 发明专利 实质审查的生效、公布 CN202610503991.8 2026-04-15 CN122372554A 2026-07-10 林伟群、乐卫平、唐亚海、刘雄、徐希睿、张文涛
8 射频电源的数据更新方法、射频电源及射频等离子体电源系统 发明专利 实质审查的生效、公布 CN202610503110.2 2026-04-15 CN122372553A 2026-07-10 林伟群、乐卫平、唐亚海、刘雄、徐希睿、张文涛
9 用于等离子体源的冷却结构的灌封方法 发明专利 实质审查的生效、公布 CN202610347546.7 2026-03-19 CN122560300A 2026-08-14 范天赐、丁鹏、刘景锋、麦峻铭、何志军、乐卫平
10 远程等离子体源 外观专利 授权 CN202630123945.6 2026-03-19 CN310212598S 2026-09-18 范天赐、丁鹏、刘景锋、麦峻铭、何志军、乐卫平
11 离子源 外观专利 授权 CN202630089593.7 2026-02-27 CN310129866S 2026-08-04 郑孟昌、吴基锴、黄晓东
12 一种基于MEMS流量传感器的封装结构 发明专利 实质审查的生效、公布 CN202511718126.7 2025-11-21 CN121783294A 2026-04-03 乐卫平、张文伟、陈宇龙、伍焕灵、宋秋明、贾原、田金鹏、陈韵平、刘涛、张文杰
13 一种分流式宽量程的流量传感器 实用新型 授权 CN202522472583.4 2025-11-21 CN224719473U 2026-09-04 乐卫平、张文伟、陈宇龙、伍焕灵、宋秋明、贾原、田金鹏、陈韵平、刘涛、张文杰
14 一种主旁路分流的流量传感器 实用新型 授权 CN202522472586.8 2025-11-21 CN224719472U 2026-09-04 宋秋明、乐卫平、张文伟、陈宇龙、伍焕灵、程思思、贾原、陈韵平、刘涛、张文杰
15 一种紧凑型的流量传感器 实用新型 授权 CN202522472579.8 2025-11-21 CN224772402U 2026-09-18 伍焕灵、乐卫平、张文伟、陈宇龙、宋秋明、贾原、田金鹏、陈韵平、刘涛、张文杰
16 射频电源 外观专利 授权 CN202530576887.8 2025-09-26 CN309908228S 2026-04-10 吴基锴、黄晓东
17 一种多腔体射频处理装置 实用新型 授权 CN202522043053.8 2025-09-23 CN224745700U 2026-09-11 林伟群、黄国华、洪涛
18 信号处理电路及信号检测系统 实用新型 授权 CN202522040236.4 2025-09-22 CN224626625U 2026-08-11 林伟群、郭梓涵
19 石墨舟的清洗方法、控制装置及清洗设备 发明专利 公布 CN202511222075.9 2025-08-28 CN120984635A 2025-11-21 乐卫平、刘涛、谢幸光、阳先峰、范天赐、吴凤波
20 悬浮电极电路及能够应用于石墨舟清洗的设备 实用新型 授权 CN202521858964.X 2025-08-28 CN224554317U 2026-07-24 乐卫平、刘涛、阳先峰、范天赐、谢幸光、吴凤波
21 能够用于石墨舟清洗的设备 实用新型 授权 CN202521864737.8 2025-08-28 CN224687475U 2026-08-28 乐卫平、刘涛、阳先峰、范天赐、谢幸光、吴凤波
22 电感耦合式离子源 外观专利 授权 CN202530508853.5 2025-08-27 CN309893090S 2026-04-03 范天赐、杨博文、阳先峰
23 一种电感调节装置 实用新型 授权 CN202521840110.9 2025-08-27 CN224682914U 2026-08-25 范天赐、杨博文、阳先峰、钟燕
24 一种磁场封闭线圈 实用新型 授权 CN202521837653.5 2025-08-27 CN224708649U 2026-09-01 范天赐、杨博文、阳先峰、钟燕
25 一种离子能量控制装置及离子发生设备 实用新型 授权 CN202521836892.9 2025-08-27 CN224733874U 2026-09-08 范天赐、杨博文、阳先峰、钟燕
26 滤波电路及半导体工艺设备 实用新型 授权 CN202521213325.8 2025-06-13 CN224610789U 2026-08-07 杨佩铮、毛元韬
27 一种D类逆变器及射频电源 实用新型 授权 CN202521178423.2 2025-06-10 CN224329399U 2026-06-05 林桂浩、林伟群、龚城
28 基于电场耦合的电压采样电路和射频匹配器 实用新型 授权 CN202520985855.8 2025-05-19 CN224203290U 2026-05-05 林伟群、章兵
29 烧结散热板的功放电路板及其制造方法 发明专利 实质审查的生效、公布 CN202510637416.2 2025-05-16 CN120456433A 2025-08-08 林伟群、章兵、李敏敏、张海强、郭世雨、胡一帆、黄国华、林桂浩
30 一种散热电感、匹配器及射频能量传输装置 实用新型 授权 CN202520974119.2 2025-05-16 CN224203922U 2026-05-05 黄晓东、吴基锴、林伟群
31 烧结有散热板的功率放大器模块及射频电源 实用新型 授权 CN202520974094.6 2025-05-16 CN224356081U 2026-06-12 林伟群、章兵、李敏敏、张海强、郭世雨、胡一帆、黄国华、林桂浩
32 共模电感器、滤波电路及半导体工艺设备 实用新型 授权 CN202520917900.6 2025-05-12 CN224232456U 2026-05-12 杨佩铮、黄晓东
33 等离子体激发组件、电磁场产生装置及等离子体产生装置 实用新型 授权 CN202520890439.X 2025-05-07 CN224192118U 2026-05-01 范天赐、刘涛
34 气体输送组件及等离子体产生装置 实用新型 授权 CN202520890014.9 2025-05-07 CN224192116U 2026-05-01 范天赐、刘涛
35 等离子体产生装置及等离子体加工设备 实用新型 授权 CN202520899792.4 2025-05-07 CN224205298U 2026-05-05 范天赐、刘涛
36 远程等离子体产生装置及等离子体加工设备 实用新型 授权 CN202520898482.0 2025-05-07 CN224356326U 2026-06-12 范天赐、刘涛
37 等离子体产生装置及等离子体加工设备 实用新型 授权 CN202520889478.8 2025-05-07 CN224356325U 2026-06-12 范天赐、刘涛
38 出气装置和等离子体处理设备 实用新型 授权 CN202520890194.0 2025-05-07 CN224384247U 2026-06-19 范天赐、刘涛
39 离子源 外观专利 授权 CN202530220855.4 2025-04-22 CN309611196S 2025-11-18 杨靖、乐卫平
40 匹配器 外观专利 授权 CN202530200095.0 2025-04-14 CN309612116S 2025-11-18 戴和新、乐卫平
41 电压采样电路和电压采样装置 实用新型 授权 CN202520604431.2 2025-04-01 CN224203286U 2026-05-05 林伟群、郭启亮
42 一种电感及射频设备 实用新型 授权 CN202520470396.X 2025-03-17 CN223898122U 2026-02-10 戴和新、林伟群
43 一种电感结构及电感线圈安装模具 实用新型 授权 CN202520470388.5 2025-03-17 CN223911506U 2026-02-13 吴基锴、林伟群
44 一种电感结构 实用新型 授权 CN202520461387.4 2025-03-17 CN223911515U 2026-02-13 杨靖、林伟群
45 一种射频匹配器 实用新型 授权 CN202520463818.0 2025-03-17 CN223912462U 2026-02-13 黄晓东、林伟群
46 一种电感结构 实用新型 授权 CN202520465236.6 2025-03-17 CN223911491U 2026-02-13 吴基锴、林伟群
47 射频电源 外观专利 授权 CN202530115868.5 2025-03-12 CN309529756S 2025-10-03 郑孟昌、乐卫平
48 滤波器 外观专利 授权 CN202530083855.4 2025-02-25 CN309530166S 2025-10-03 黄晓东、乐卫平
49 滤波器 外观专利 授权 CN202530083847.X 2025-02-25 CN309530165S 2025-10-03 黄晓东、乐卫平
50 双频匹配器 外观专利 授权 CN202530083845.0 2025-02-25 CN309530164S 2025-10-03 黄晓东、乐卫平