恒运昌取得远程等离子体源相关专利,该外观产品用于产生等离子体
来源:新浪证券-红岸工作室
9月20日消息,国家知识产权局信息显示,深圳市恒运昌真空技术股份有限公司申请一项名为“远程等离子体源”的专利,授权公告号CN310212598S,授权公告日为2026年9月18日。申请号为CN202630123945.6,申请公布日期为2026年9月18日,申请日期为2026年3月19日,发明人范天赐、丁鹏、刘景锋、麦峻铭、何志军、乐卫平,专利代理机构北京利卜知识产权代理有限公司,专利代理师刘子敬,分类号13-02(15)。
专利摘要显示,1.本外观设计产品的名称:远程等离子体源。2.本外观设计产品的用途:用于产生等离子体。3.本外观设计产品的设计要点:在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片:立体图。
恒运昌成立于2013年3月19日,将于2026年1月28日登陆上海证券交易所上市,公司注册及办公地点均位于广东省深圳市,是国内等离子体电源领域专精特新标杆企业,核心产品技术壁垒突出。
公司主营业务覆盖等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源及相关配件的研发、生产、销售与技术服务,同时引入真空获得、流体控制等核心零部件,围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案,所属申万行业为电子-半导体-半导体设备,概念板块涵盖小盘均衡、专精特新、半导体设备。
2026年上半年,恒运昌实现营业收入2.78亿元,在27家同行业可比公司中排名第23位,同期行业营收第一名北方华创达201.61亿元、第二名中微公司为66.91亿元,行业营收平均数为21亿元、中位数为8.97亿元;营收结构中自研产品贡献2.43亿元,占比87.20%,引进产品实现收入3136.29万元,占比11.27%,技术服务收入427.57万元,占比1.54%。当期公司实现净利润5235.05万元,行业排名第18位,同期行业净利润第一名北方华创为32.29亿元、第二名中微公司达27.97亿元,行业净利润平均数为4.99亿元、中位数为1.57亿元。
| 指标类别 | 具体指标 | 数值情况 | 行业排位/对比基准 |
|---|---|---|---|
| 营收表现 | 2026年上半年营业收入 | 2.78亿元 | 23/27,低于行业均值21亿元、中位数8.97亿元 |
| 营收结构 | 自研产品收入及占比 | 2.43亿元,87.20% | 核心营收来源 |
| 营收结构 | 引进产品收入及占比 | 3136.29万元,11.27% | 配套业务组成 |
| 营收结构 | 技术服务收入及占比 | 427.57万元,1.54% | 增值服务板块 |
| 净利润表现 | 2026年上半年净利润 | 5235.05万元 | 18/27,低于行业均值4.99亿元、中位数1.57亿元 |
深圳市恒运昌真空技术股份有限公司近期专利情况如下:
| 序号 | 专利名称 | 专利类型 | 法律状态 | 申请号 | 申请日期 | 公开(公告)号 | 公开(公告)日期 | 发明人 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 射频信号校正方法和装置、电子设备及计算机可读存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610866517.1 | 2026-06-16 | CN122488883A | 2026-07-31 | 林伟群、唐亚海、奥维迪乌·丹尼尔·斯坦、乐卫平、姚志毅 |
| 2 | 阻抗匹配方法和装置、电子设备及计算机可读存储介质 | 发明专利 | 授权 | CN202610866535.X | 2026-06-16 | CN122431476B | 2026-09-18 | 林伟群、唐亚海、奥维迪乌·丹尼尔·斯坦、乐卫平、姚志毅 |
| 3 | 阻抗匹配方法和装置、电子设备及计算机可读存储介质 | 发明专利 | 授权 | CN202610866531.1 | 2026-06-16 | CN122387258B | 2026-09-18 | 林伟群、唐亚海、奥维迪乌·丹尼尔·斯坦、乐卫平、姚志毅 |
| 4 | 射频电源的最大梯度角确定方法及装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610655069.0 | 2026-05-13 | CN122218558A | 2026-06-16 | 林伟群、乐卫平、黄永镇、钟睿 |
| 5 | 增益定标方法、动态阻抗测试方法、设备及介质 | 发明专利 | 授权 | CN202610655279.X | 2026-05-13 | CN122172062B | 2026-08-07 | 林伟群、乐卫平、黄永镇、钟睿 |
| 6 | 射频电源的数据更新方法、射频电源及射频等离子体电源系统 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610502496.5 | 2026-04-15 | CN122372552A | 2026-07-10 | 林伟群、乐卫平、唐亚海、刘雄、徐希睿、张文涛 |
| 7 | 射频电源的数据更新方法、射频电源及射频等离子体电源系统 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610503991.8 | 2026-04-15 | CN122372554A | 2026-07-10 | 林伟群、乐卫平、唐亚海、刘雄、徐希睿、张文涛 |
| 8 | 射频电源的数据更新方法、射频电源及射频等离子体电源系统 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610503110.2 | 2026-04-15 | CN122372553A | 2026-07-10 | 林伟群、乐卫平、唐亚海、刘雄、徐希睿、张文涛 |
| 9 | 用于等离子体源的冷却结构的灌封方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610347546.7 | 2026-03-19 | CN122560300A | 2026-08-14 | 范天赐、丁鹏、刘景锋、麦峻铭、何志军、乐卫平 |
| 10 | 远程等离子体源 | 外观专利 | 授权 | CN202630123945.6 | 2026-03-19 | CN310212598S | 2026-09-18 | 范天赐、丁鹏、刘景锋、麦峻铭、何志军、乐卫平 |
| 11 | 离子源 | 外观专利 | 授权 | CN202630089593.7 | 2026-02-27 | CN310129866S | 2026-08-04 | 郑孟昌、吴基锴、黄晓东 |
| 12 | 一种基于MEMS流量传感器的封装结构 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511718126.7 | 2025-11-21 | CN121783294A | 2026-04-03 | 乐卫平、张文伟、陈宇龙、伍焕灵、宋秋明、贾原、田金鹏、陈韵平、刘涛、张文杰 |
| 13 | 一种分流式宽量程的流量传感器 | 实用新型 | 授权 | CN202522472583.4 | 2025-11-21 | CN224719473U | 2026-09-04 | 乐卫平、张文伟、陈宇龙、伍焕灵、宋秋明、贾原、田金鹏、陈韵平、刘涛、张文杰 |
| 14 | 一种主旁路分流的流量传感器 | 实用新型 | 授权 | CN202522472586.8 | 2025-11-21 | CN224719472U | 2026-09-04 | 宋秋明、乐卫平、张文伟、陈宇龙、伍焕灵、程思思、贾原、陈韵平、刘涛、张文杰 |
| 15 | 一种紧凑型的流量传感器 | 实用新型 | 授权 | CN202522472579.8 | 2025-11-21 | CN224772402U | 2026-09-18 | 伍焕灵、乐卫平、张文伟、陈宇龙、宋秋明、贾原、田金鹏、陈韵平、刘涛、张文杰 |
| 16 | 射频电源 | 外观专利 | 授权 | CN202530576887.8 | 2025-09-26 | CN309908228S | 2026-04-10 | 吴基锴、黄晓东 |
| 17 | 一种多腔体射频处理装置 | 实用新型 | 授权 | CN202522043053.8 | 2025-09-23 | CN224745700U | 2026-09-11 | 林伟群、黄国华、洪涛 |
| 18 | 信号处理电路及信号检测系统 | 实用新型 | 授权 | CN202522040236.4 | 2025-09-22 | CN224626625U | 2026-08-11 | 林伟群、郭梓涵 |
| 19 | 石墨舟的清洗方法、控制装置及清洗设备 | 发明专利 | 公布 | CN202511222075.9 | 2025-08-28 | CN120984635A | 2025-11-21 | 乐卫平、刘涛、谢幸光、阳先峰、范天赐、吴凤波 |
| 20 | 悬浮电极电路及能够应用于石墨舟清洗的设备 | 实用新型 | 授权 | CN202521858964.X | 2025-08-28 | CN224554317U | 2026-07-24 | 乐卫平、刘涛、阳先峰、范天赐、谢幸光、吴凤波 |
| 21 | 能够用于石墨舟清洗的设备 | 实用新型 | 授权 | CN202521864737.8 | 2025-08-28 | CN224687475U | 2026-08-28 | 乐卫平、刘涛、阳先峰、范天赐、谢幸光、吴凤波 |
| 22 | 电感耦合式离子源 | 外观专利 | 授权 | CN202530508853.5 | 2025-08-27 | CN309893090S | 2026-04-03 | 范天赐、杨博文、阳先峰 |
| 23 | 一种电感调节装置 | 实用新型 | 授权 | CN202521840110.9 | 2025-08-27 | CN224682914U | 2026-08-25 | 范天赐、杨博文、阳先峰、钟燕 |
| 24 | 一种磁场封闭线圈 | 实用新型 | 授权 | CN202521837653.5 | 2025-08-27 | CN224708649U | 2026-09-01 | 范天赐、杨博文、阳先峰、钟燕 |
| 25 | 一种离子能量控制装置及离子发生设备 | 实用新型 | 授权 | CN202521836892.9 | 2025-08-27 | CN224733874U | 2026-09-08 | 范天赐、杨博文、阳先峰、钟燕 |
| 26 | 滤波电路及半导体工艺设备 | 实用新型 | 授权 | CN202521213325.8 | 2025-06-13 | CN224610789U | 2026-08-07 | 杨佩铮、毛元韬 |
| 27 | 一种D类逆变器及射频电源 | 实用新型 | 授权 | CN202521178423.2 | 2025-06-10 | CN224329399U | 2026-06-05 | 林桂浩、林伟群、龚城 |
| 28 | 基于电场耦合的电压采样电路和射频匹配器 | 实用新型 | 授权 | CN202520985855.8 | 2025-05-19 | CN224203290U | 2026-05-05 | 林伟群、章兵 |
| 29 | 烧结散热板的功放电路板及其制造方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510637416.2 | 2025-05-16 | CN120456433A | 2025-08-08 | 林伟群、章兵、李敏敏、张海强、郭世雨、胡一帆、黄国华、林桂浩 |
| 30 | 一种散热电感、匹配器及射频能量传输装置 | 实用新型 | 授权 | CN202520974119.2 | 2025-05-16 | CN224203922U | 2026-05-05 | 黄晓东、吴基锴、林伟群 |
| 31 | 烧结有散热板的功率放大器模块及射频电源 | 实用新型 | 授权 | CN202520974094.6 | 2025-05-16 | CN224356081U | 2026-06-12 | 林伟群、章兵、李敏敏、张海强、郭世雨、胡一帆、黄国华、林桂浩 |
| 32 | 共模电感器、滤波电路及半导体工艺设备 | 实用新型 | 授权 | CN202520917900.6 | 2025-05-12 | CN224232456U | 2026-05-12 | 杨佩铮、黄晓东 |
| 33 | 等离子体激发组件、电磁场产生装置及等离子体产生装置 | 实用新型 | 授权 | CN202520890439.X | 2025-05-07 | CN224192118U | 2026-05-01 | 范天赐、刘涛 |
| 34 | 气体输送组件及等离子体产生装置 | 实用新型 | 授权 | CN202520890014.9 | 2025-05-07 | CN224192116U | 2026-05-01 | 范天赐、刘涛 |
| 35 | 等离子体产生装置及等离子体加工设备 | 实用新型 | 授权 | CN202520899792.4 | 2025-05-07 | CN224205298U | 2026-05-05 | 范天赐、刘涛 |
| 36 | 远程等离子体产生装置及等离子体加工设备 | 实用新型 | 授权 | CN202520898482.0 | 2025-05-07 | CN224356326U | 2026-06-12 | 范天赐、刘涛 |
| 37 | 等离子体产生装置及等离子体加工设备 | 实用新型 | 授权 | CN202520889478.8 | 2025-05-07 | CN224356325U | 2026-06-12 | 范天赐、刘涛 |
| 38 | 出气装置和等离子体处理设备 | 实用新型 | 授权 | CN202520890194.0 | 2025-05-07 | CN224384247U | 2026-06-19 | 范天赐、刘涛 |
| 39 | 离子源 | 外观专利 | 授权 | CN202530220855.4 | 2025-04-22 | CN309611196S | 2025-11-18 | 杨靖、乐卫平 |
| 40 | 匹配器 | 外观专利 | 授权 | CN202530200095.0 | 2025-04-14 | CN309612116S | 2025-11-18 | 戴和新、乐卫平 |
| 41 | 电压采样电路和电压采样装置 | 实用新型 | 授权 | CN202520604431.2 | 2025-04-01 | CN224203286U | 2026-05-05 | 林伟群、郭启亮 |
| 42 | 一种电感及射频设备 | 实用新型 | 授权 | CN202520470396.X | 2025-03-17 | CN223898122U | 2026-02-10 | 戴和新、林伟群 |
| 43 | 一种电感结构及电感线圈安装模具 | 实用新型 | 授权 | CN202520470388.5 | 2025-03-17 | CN223911506U | 2026-02-13 | 吴基锴、林伟群 |
| 44 | 一种电感结构 | 实用新型 | 授权 | CN202520461387.4 | 2025-03-17 | CN223911515U | 2026-02-13 | 杨靖、林伟群 |
| 45 | 一种射频匹配器 | 实用新型 | 授权 | CN202520463818.0 | 2025-03-17 | CN223912462U | 2026-02-13 | 黄晓东、林伟群 |
| 46 | 一种电感结构 | 实用新型 | 授权 | CN202520465236.6 | 2025-03-17 | CN223911491U | 2026-02-13 | 吴基锴、林伟群 |
| 47 | 射频电源 | 外观专利 | 授权 | CN202530115868.5 | 2025-03-12 | CN309529756S | 2025-10-03 | 郑孟昌、乐卫平 |
| 48 | 滤波器 | 外观专利 | 授权 | CN202530083855.4 | 2025-02-25 | CN309530166S | 2025-10-03 | 黄晓东、乐卫平 |
| 49 | 滤波器 | 外观专利 | 授权 | CN202530083847.X | 2025-02-25 | CN309530165S | 2025-10-03 | 黄晓东、乐卫平 |
| 50 | 双频匹配器 | 外观专利 | 授权 | CN202530083845.0 | 2025-02-25 | CN309530164S | 2025-10-03 | 黄晓东、乐卫平 |

