臻宝科技申请氧化钇薄膜厚度检测相关专利，实现气溶胶沉积氧化钇薄膜厚度精准检测
11月15日消息，国家知识产权局信息显示，重庆臻宝科技股份有限公司申请一项名为“一种气溶胶沉积氧化钇薄膜的涂层厚度检测方法”的专利。申请公布号为CN123086251A，申请号为CN202611233159.7，申请公布日期为2026年11月13日，申请日期为2026年8月14日，发明人何桥、王燕清、余倩、王文彬、杨佐东，专利代理机构重庆鼎慧峰合知识产权代理事务所（普通合伙），专利代理师袁令，分类号G01B11/06、G01N21/73、G01N1/44、G01N1/38、G01N1/28。
专利摘要显示，本发明提供了一种气溶胶沉积氧化钇薄膜的涂层厚度检测方法，包括：制备氧化钇薄膜样本，并将氧化钇薄膜样本放入容器内，使用无机酸进行微波消解；将氧化钇薄膜样本从容器中取出，使用超纯水冲洗，并将冲洗的超纯水汇入容器中；向容器直接加入超纯水并定容，得到待测溶液，然后取出预设体积的待测溶液并进行稀释，得到稀释溶液；对稀释溶液进行ICP‑OES测定，得到含钇浓度，然后根据含钇浓度计算氧化钇涂层厚度。本发明解决了现有技术中存在的无法准确测量土层整体厚度分布的问题。
臻宝科技是国内半导体真空腔体零部件领域领先企业，深耕核心工艺部件及表面处理技术赛道，具备突出的技术壁垒优势。公司成立于2016年2月25日，将于2026年6月24日登陆上海证券交易所，注册及办公所在地均为重庆市。
公司主营业务聚焦为集成电路及显示面板行业客户提供制造设备真空腔体内参与工艺反应的零部件及其表面处理解决方案，所属申万行业为电子-半导体-半导体材料，覆盖半导体材料、国家大基金持股、碳化硅三大概念板块。
2026年三季度，臻宝科技实现营业收入7.94亿元，在30家同行业可比公司中排名第19位，当期行业营收第一名有研新材达84.62亿元、第二名雅克科技为67.21亿元，行业平均营收17.95亿元，行业营收中位数9.67亿元；同期公司实现净利润1.81亿元，行业排名第8位，行业净利润第一名雅克科技为9.34亿元、第二名江丰电子达7.09亿元，行业平均净利润1.44亿元，行业净利润中位数为8828.74万元，盈利表现优于行业平均水平。
| 指标类型 | 当期数值 | 行业排名/总家数 | 行业头部标的及对应数值 | 行业平均水平 | 行业中位数水平 |
|---|---|---|---|---|---|
| 营业收入 | 7.94亿元 | 19/30 | 有研新材84.62亿元、雅克科技67.21亿元 | 17.95亿元 | 9.67亿元 |
| 净利润 | 1.81亿元 | 8/30 | 雅克科技9.34亿元、江丰电子7.09亿元 | 1.44亿元 | 8828.74万元 |
重庆臻宝科技股份有限公司近期专利情况如下：
| 序号 | 专利名称 | 专利类型 | 法律状态 | 申请号 | 申请日期 | 公开(公告)号 | 公开(公告)日期 | 发明人 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 一种基于H | 发明专利 | 发明专利申请公布、公布 | CN202611334088.X | 2026-08-31 | CN123062267A | 2026-11-10 | 谭敏、郑洋、常梓勋、杨潇枭、蒋晓钧、曾德强、陈立航 |
| 2 | 一种基于CO | 发明专利 | 发明专利申请公布、公布 | CN202611334082.2 | 2026-08-31 | CN123082679A | 2026-11-13 | 谭敏、郑洋、常梓勋、潘倩、蒋晓钧、曾德强、陈立航 |
| 3 | 一种多孔陶瓷辐射制冷涂层及其制备方法与应用 | 发明专利 | 发明专利申请公布、公布 | CN202611277802.6 | 2026-08-21 | CN123004178A | 2026-10-30 | 刘恒豪、郑洋、常梓勋、曾德强、陈立航、蒋晓钧 |
| 4 | 一种陶瓷浆料搅拌釜 | 发明专利 | 实质审查的生效、发明专利申请公布、公布 | CN202611260215.6 | 2026-08-19 | CN122851813A | 2026-10-02 | 陈超、陈立航、蒋晓钧 |
| 5 | 一种气溶胶沉积氧化钇薄膜的涂层厚度检测方法 | 发明专利 | 发明专利申请公布、公布 | CN202611233159.7 | 2026-08-14 | CN123086251A | 2026-11-13 | 何桥、王燕清、余倩、王文彬、杨佐东 |
| 6 | 一种半导体材料清洗装置 | 发明专利 | CN202611188828.3 | 2026-08-06 | CN122872001A | 2026-10-02 | 王文彬、赵清云、何桥 | |
| 7 | 低翘曲度的陶瓷静电卡盘烧结方法和陶瓷静电卡盘 | 发明专利 | 公布 | CN202611165637.5 | 2026-08-03 | CN122725811A | 2026-09-11 | 王藤、蒋晓钧、陈立航 |
| 8 | 一种高致密度氧化钇陶瓷的制备方法 | 发明专利 | CN202611146657.8 | 2026-07-30 | CN122853892A | 2026-10-02 | 谯敏、王虓虎、陈立航、蒋晓钧 | |
| 9 | 一种低透光3C-SiC材料及其制备方法与应用 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202611101297.X | 2026-07-23 | CN122749138A | 2026-09-15 | 张仁浩、杨佐东、杜宗伟、张文平 |
| 10 | 一种高强度高孔隙率多孔氧化铝陶瓷及其制备方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、发明专利申请公布、公布 | CN202611094046.3 | 2026-07-22 | CN122853931A | 2026-10-02 | 王建行、马俊、王虓虎、陈立航、蒋晓钧 |
| 11 | 陶瓷浆料脱泡装置和陶瓷浆料脱泡方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202611045005.5 | 2026-07-14 | CN122682302A | 2026-09-04 | 郝明慧、陈立航、蒋晓钧 |
| 12 | 一种利用热处理粉末二次轰击夯实制备高致密氧化钇涂层的方法及装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、发明专利申请公布、公布 | CN202611033750.8 | 2026-07-13 | CN122959733A | 2026-10-23 | 郑洋、谭敏、潘倩、杨潇枭、曾德强、陈立航、蒋晓钧 |
| 13 | 一种硅单晶生长方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610980466.5 | 2026-07-02 | CN122543162A | 2026-08-11 | 王鹏、王雪、杨佐东 |
| 14 | 一种防粉体团聚气溶胶送粉装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610909448.8 | 2026-06-23 | CN122648929A | 2026-08-28 | 郑洋、常梓勋、杨潇枭、刘全、曾德强、陈立航、蒋晓钧 |
| 15 | 一种氮化铝陶瓷及其烧结方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610888654.5 | 2026-06-18 | CN122562553A | 2026-08-14 | 谭翠、陈超、陈立航、蒋晓钧 |
| 16 | 一种静电辅助的真空喷涂系统及涂层制备方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610865632.7 | 2026-06-16 | CN122751190A | 2026-09-15 | 郑洋、刘恒豪、谭敏、刘全、曾德强、陈立航、蒋晓钧 |
| 17 | 一种陶瓷造粒粉均化设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610757077.6 | 2026-05-29 | CN122424896A | 2026-07-21 | 明亿希、马俊、王虓虎、陈立航、蒋晓钧 |
| 18 | 一种可配比陶瓷浆料混合设备 | 发明专利 | 公布 | CN202610751897.4 | 2026-05-28 | CN122424754A | 2026-07-21 | 杨光、沈灿、陈立航、蒋晓钧 |
| 19 | 一种静电卡盘键合胶水调配器 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610681282.9 | 2026-05-18 | CN122298259A | 2026-06-30 | 林莹环、陈立航、蒋晓钧 |
| 20 | 一种热电偶、制备方法及静电卡盘 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610668524.0 | 2026-05-15 | CN122612091A | 2026-08-21 | 谭翠、陈超、陈立航、蒋晓钧 |
| 21 | 一种黑石英蚀刻液及其应用 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610631004.2 | 2026-05-09 | CN122381818A | 2026-07-14 | 何桥、王燕清、余倩、王文彬、杨佐东 |
| 22 | 一种半导体硅电极微孔的蚀刻预清洗方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610396942.9 | 2026-03-30 | CN122373715A | 2026-07-10 | 王燕清、何桥、王文彬、杨佐东 |
| 23 | 一种蚀刻设备碳化硅零部件CVD-MTS分模式再生方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610363073.X | 2026-03-24 | CN122327178A | 2026-07-03 | 张仁浩、杨佐东、杜宗伟、张文平 |
| 24 | 一种单晶硅片滑移线检测系统及方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610353737.4 | 2026-03-23 | CN122282794A | 2026-06-26 | 王廷波、刘森宇、杨佐东 |
| 25 | 一种新型的气溶胶分散装置及方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511931937.5 | 2025-12-19 | CN121715271A | 2026-03-24 | 王皓杰、潘倩、刘恒豪、陈立航、曾德强、蒋晓钧 |
| 26 | 一种重掺单晶硅氧碳含量检测方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511882395.7 | 2025-12-15 | CN121703038A | 2026-03-20 | 王廷波、杨佐东 |
| 27 | 静电卡盘内部缺陷检测方法、装置、终端及介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511788999.5 | 2025-12-01 | CN121595695A | 2026-03-03 | 卿钺媛、陈立航、蒋晓钧、曾德强 |
| 28 | 一种机械振动辅助气溶胶制备装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511591569.4 | 2025-11-03 | CN121103268A | 2025-12-12 | 郑洋、潘倩、王皓杰、曾德强、陈立航、蒋晓钧 |
| 29 | 一种离子辅助气溶胶沉积陶瓷薄膜涂层的制备方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511506471.4 | 2025-10-21 | CN121344584A | 2026-01-16 | 王皓杰、潘倩、常梓勋、杨潇枭、陈立航、曾德强、蒋晓钧 |
| 30 | 一种氮化铝陶瓷流延浆料、高延伸率氮化铝陶瓷生坯带及其制备方法和应用 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511415332.0 | 2025-09-30 | CN121270255A | 2026-01-06 | 王宏宇、许红豆、王明菊、陈立航、蒋晓钧、曾德强 |
| 31 | 一种复合涂层的制备方法及其装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511410090.6 | 2025-09-29 | CN121293016A | 2026-01-09 | 杨潇枭、肖永宝、常梓勋、郑洋、曾德强、陈立航、蒋晓钧 |
| 32 | 氮化铝基复合陶瓷的金属化浆料、其制备方法及氮化铝基复合陶瓷 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511378912.7 | 2025-09-25 | CN121318547A | 2026-01-13 | 许红豆、王宏宇、陈立航、蒋晓钧、曾德强 |
| 33 | 一种提高不锈钢表面疏水性的处理方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511222225.6 | 2025-08-29 | CN121046828A | 2025-12-02 | 王怀志、张迎春、蒋晓钧、陈立航 |
| 34 | 半导体刻蚀设备用变压器耦合等离子体窗及其制备方法 | 发明专利 | 授权 | CN202510580257.7 | 2025-05-07 | CN120453149B | 2026-05-15 | 何桥、张杰、王文彬、杨佐东 |
| 35 | 一种石墨纯化装置 | 发明专利 | 专利申请权、专利权的转移、实质审查的生效、公布 | CN202510391315.1 | 2025-03-31 | CN120252355A | 2025-07-04 | 张昊斌 |
| 36 | 一种用于氧化钇材料制程中缺陷的鉴定方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510164428.8 | 2025-02-14 | CN119985374A | 2025-05-13 | 陈虹利、陈立航、曾文厚、蒋晓钧 |
| 37 | 一种水基全合成切削液沉降性测试装置及测试方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411992989.9 | 2024-12-31 | CN119780051A | 2025-04-08 | 纪鑫玉、陈立航、蒋晓钧 |
| 38 | 一种抑制氧化钇涂层氧空缺的方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411602558.7 | 2024-11-11 | CN119465004A | 2025-02-18 | 王明菊、陈虹利、曾文厚、陈立航、蒋晓钧 |
| 39 | 一种低粗糙度的氧化钇涂层的制备方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411602561.9 | 2024-11-11 | CN119465005A | 2025-02-18 | 谯敏、陈虹利、曾文厚、陈立航、蒋晓钧 |
| 40 | 一种单晶硅环表面低粗糙度的碱刻试剂及清洗方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411332176.7 | 2024-09-24 | CN119221119A | 2024-12-31 | 王燕清、陈立航、蒋晓钧 |
| 41 | 硅料熔融方法、高品质单晶硅棒及其制备方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411227053.7 | 2024-09-03 | CN119121373A | 2024-12-13 | 王鹏、杨佐东 |
| 42 | 粉体撞击速度监测系统、方法、喷涂系统及涂层制备方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411068982.8 | 2024-08-06 | CN118980618A | 2024-11-19 | 肖永宝、谢迎春、谭敏、郑洋、陈立航 |
| 43 | 一种电荷辅助的气溶胶沉积装置、喷涂系统及涂层制备方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411047797.0 | 2024-08-01 | CN118976615A | 2024-11-19 | 肖永宝、谢迎春、谭敏、郑洋、陈立航 |
| 44 | 一种真空沉积设备用真空腔室及其制备方法 | 发明专利 | 公布 | CN202410966176.6 | 2024-07-18 | CN118875312A | 2024-11-01 | 肖永宝、谢迎春、谭敏、郑洋、陈立航 |
| 45 | 一种陶瓷涂层封孔检测方法及气密性检测装置 | 发明专利 | 公布 | CN202410904249.9 | 2024-07-08 | CN118882949A | 2024-11-01 | 陈虹利、陈立航 |
| 46 | 一种切削液泡沫量的测试方法及装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202410650871.1 | 2024-05-24 | CN118583822A | 2024-09-03 | 刘诗珂、王燕清、纪鑫玉、陈立航 |
| 47 | 气溶胶沉积系统粉体撞击速度测试系统、方法、喷涂系统及喷涂方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、著录事项变更、公布 | CN202410535812.X | 2024-04-30 | CN118443540A | 2024-08-06 | 肖永宝、谭敏、谢迎春、陈立航 |
| 48 | 碱性蚀刻制绒溶液的添加剂及包含其的制绒液 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202410300757.6 | 2024-03-15 | CN118127642B | 2024-11-01 | 王燕清、杨佐东、陈立航 |
| 49 | 一种J-R型静电卡盘及其制备方法与应用 | 发明专利 | 授权、著录事项变更、实质审查的生效、公布 | CN202410242674.6 | 2024-03-04 | CN118186332B | 2024-09-13 | 吴昊、李宗泰、杨佐东、郑宣 |
| 50 | 一种高致密化氧化铝陶瓷及其制备方法与应用 | 发明专利 | 发明专利申请公布后的驳回、著录事项变更、实质审查的生效、公布 | CN202410214523.X | 2024-02-27 | CN118047593A | 2024-05-17 | 许红豆、胡梓钊、陈立航 |