大族激光：光刻机已接到少量订单
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大族激光：光刻机已接到少量订单

证券时报·e公司
2020年08月10日 14:46:17
e公司讯，大族激光(002008)8月10日在互动平台表示，公司在研光刻机项目分辨率3-5μm，主要聚焦在分立器件、LED等方面的应用，目前已接到少量订单。
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