国资委：极大规模集成电路含氟电子气体实现国产化
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国资委：极大规模集成电路含氟电子气体实现国产化

证券时报·e公司
2020年08月14日 13:34:02
e公司讯，8月14日，国务院国资委官网发布消息，由中国化工黎明化工研究设计院承担的国家科技重大专项项目“高纯四氟化碳和六氟化硫研发与中试”通过国家重大专项项目组测试与评审，标志着我国极大规模集成电路行业所需高纯度含氟电子气体实现国产化。目前，黎明院高纯四氟化碳和六氟化硫的年产能可达2000吨，可完全实现对进口产品的替代。资料显示，黎明化工研究设计院有限责任公司为昊华科技(600378)全资子公司。
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