上海印发《新时期促进上海市集成电路产业和软件产业高质量发展的若干政策》：加大对自主安全可控装备材料的验证和应用支持力度。对本市集成电路产线和中试线为本市集成电路首台套装备、首批次新材料验证服务的，给予
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上海印发《新时期促进上海市集成电路产业和软件产业高质量发展的若干政策》：加大对自主安全可控装备材料的验证和应用支持力度。对本市集成电路产线和中试线为本市集成电路首台套装备、首批次新材料验证服务的，给予一定研发补贴。其中，单台装备验证最高不超过100万元，每批材料验证最高不超过50万元。将支持自主安全可控装备材料应用与验证作为本市新建集成电路产线项目获得政府资金支持的基本条件，其中自主安全可控集成电路装备材料产品采购比例不低于政府支持资金的30%，具体比例根据实际情况动态调整。
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