对话ASML中国区总裁沈波：中国已有近1400台，ASML为何能领军光刻机市场？｜直击·2023进博会

ASML公司于2022年参展第五届进博会

2023年11月5日-10日，第六届中国国际进口博览会（下称“进博会”）将在上海全面线下举办。

本届进博会预计将迎来154个国家、地区和国际组织的来宾。已有超过3400家参展商和39.4万名专业观众注册报名，展览面积约36.7万平方米，参展的世界500强和行业龙头企业数达289家，均超过之前历届水平。

作为全球芯片领域的领先供应商，今年，ASML（阿斯麦）公司将携光刻机、计算光刻和量测等诸多技术，以“光刻未来，携手同行”为主题第五次参加进博会，继续亮相上海国家会展中心技术装备展区集成电路专区。

展会召开前夕，ASML全球副总裁、中国区总裁沈波与钛媒体App等进行深入的交流，分享行业洞察、业务进展等情况。

沈波表示，去年ASML全球净销售额达212亿欧元，预计2023财年，公司全球销售额增长30%，将达270余亿欧元。据ASML最新季报，明后年全球半导体行业将企稳。预计到2025年，现有晶圆厂产能将会增加并有新的晶圆厂投入使用，半导体设备行业将会迎来比较大的增长，迎来需求的“高潮”。

沈波透露，“我们现在对自己产能的判断，目标是在2025年底或2026年初，具备每年500台-600台深紫外（DUV）的设备产能。”

光刻设备供不应求，ASML中国的机台装机量接近1400台

简单来说，光刻是指，晶圆被放入光刻机中，光线会通过“掩模版”投射到晶圆上，光刻机的光学系统将掩模版上设计好的电路图案缩小并聚焦到晶圆上的光刻胶。当光线照射到光刻胶上时，会产生化学变化，将掩模版上的图案印制到光刻胶涂层上。

因此，光刻在芯片制造过程中至关重要。而光刻机也被誉为半导体“皇冠上的明珠”。

作为全球半导体行业的创新领导者，1984年成立的ASML公司，提供涵盖硬件、软件和服务在内的全景光刻解决方案，帮助芯片制造商在硅晶圆上批量“刻”制图形。同时，ASML也是目前世界上唯一使用极紫外光（EUV）的光刻机制造商。

事实上，光刻机制造过程繁杂、难度较大。

“我们的光刻机每小时能处理多达300余片晶圆，每一片晶圆可能在光刻机中曝光时间只有十几秒。这十几秒，机器要把所有的曝光完成。其中，在一片晶圆上，根据产品种类和设计的差异需要产生100束光左右，每一束光都会有区别，并且在实时调整。这个过程非常复杂、非常精细。”沈波表示，光刻环节，处于上千道工序里面最核心的位置。量产芯片厂，产品良率基本上在90%以上。这一千多道工序，每一道工序的误差、偏差都需要控制得非常精确。任何一道工序有问题，芯片最后出来就可能不是一个合格的产品，这对芯片厂而言是巨大的成本。

ASML全球副总裁、中国区总裁沈波

沈波先生于2018年1月加入ASML公司，现担任ASML全球高级副总裁和中国区总裁职务，负责ASML公司在中国的总体业务发展和运营。在加入ASML之前，沈波曾供职于美国通用电气(GE)公司、芬兰富腾工程公司等。

自1988年向中国交付了首台步进式光刻机之后，ASML公司已经在中国市场深耕30余年，参与支持了中国半导体行业的发展，提供全包括光刻机台、计算光刻、以及光学和电子束量测的全景光刻解决方案，从而帮助客户提高效率并降低成本。

目前，ASML在中国设有16个办事处、12个仓储物流中心、3个开发中心、1个培训中心以及1个维修中心。ASML在中国大陆的员工总人数已经超过1600人。

事实上，中国已成为ASML最重要的市场之一。

今年10月18日ASML公布的最新财报显示，截止9月30日的前三季度，ASML全球净销售额达203.21亿欧元，而中国区同期收入约合52.67亿欧元，占比25.91%左右。ASML预计，2023年第四季度的净销售额在67亿-71亿欧元之间，毛利率在50%-51%之间。

“总体来讲，到目前为止，我们还属于有一点产能不足的状态。对市场的需求来说。尽管现在全球行业整体处在周期谷底，但ASML目前在手还没执行的订单有350亿欧元。总体上（光刻设备）还是供不应求。”沈波表示，2022财年，ASML全球净销售额达212亿欧元，今年全公司销售额增长30%，预计达270亿欧元以上。

对于中国市场，沈波对钛媒体App表示，“现在网上有各种各样的关于我们的消息，说我们不卖机器到中国，这种很吸引眼球的传闻。然而，实际上我们从1988年首台机器运到中国，到2023年底，ASML在中国的光刻机加上量测的机台装机量接近1400台。所以，实际上我们这些年在中国的成长幅度还是非常可观的。我们一直在不停地投入做这件事情。”

“对于我们来讲，我们是跟着这个（中国半导体产业）成长在不停地投入，团队的投入、备件领域的投入、产品开发方面的投入，我们在中国都不断地投入才形成这样一个局面。我们的出发点，是为了更好的支持中国客户的生产以及其今后的发展，我们一直是沿着这个思路在成长。”沈波表示，接下来，ASML仍将持续、更好地支持客户的发展，尤其在本土的客户服务方面也在不断地加大投入力度。

第六届进博会期间，ASML将会展示“铁三角”全景光刻解决方案：配备先进工艺控制能力的光刻机台、计算光刻、光学及电子束量测。

其中，需要稍微科普的一个技术是“计算光刻”。

发展30多年的计算光刻，目前主要应用于芯片的开发与制造环节，通过优化成像光源与掩模版设计，实现更精确的图形成像和更好的芯片生产良率。目前，ASML拥有全球领先的光学邻近效应修正（OPC）、光源-掩膜协同优化技术（SMO）等计算光刻技术。

今年3月，英伟达宣布与台积电、ASML、新思科技(Synopsys)合作，利用NVIDIA cuLitho计算光刻技术软件库，将计算光刻加速40倍以上，为2nm及更先进的工艺奠定基础，引发广泛关注。

截至目前，全球范围内有众多芯片制造商已采用ASML的计算光刻技术，并基于此技术加速研发周期以及制造芯片。今年，ASML计算光刻中国团队已开发并发布了一款新版本的计算光刻产品。

在“铁三角”中，ASML中国团队参与了计算光刻和电子束量测业务的相关开发工作。

其中，深圳和武汉的研发中心参与计算光刻开发，是全球体系的一环；北京研发中心在ASML电子束检测产品线中具有重要作用，参与了多个电子束检测模块开发。

在沈波看来，作为公司全球研发体系的一环，ASML在国内的技术团队和其他地区的团队通力合作，有不少项目都是各地的技术人员进行协作，融为一体的。“半导体行业从诞生起就是全球合作的，在ASML也是一样。”沈波曾表示。

沈波强调，2018年初，ASML中国团队有500人左右，到今年底是1600多人。预计到2024年，ASML也将计划有一个可持续的团队成长。

ASML助力晶圆厂，美禁令影响明年中国业务的10%-15%

沈波表示，ASML成立至今，团队持续秉持“3C文化”：挑战求精（Challenge）、合作共进（Collaborate）、关爱致远（Care）。

“我们一直在讲，我们团队与团队、同事、客户之间都是合作的关系。我们跟客户是很重要的合作伙伴，协作这个概念在我们公司是贯彻得非常一致的。”沈波表示，ASML会持续助力全球晶圆厂、芯片企业成长。

沈波坦率地表示，“我们的工作很辛苦，员工半夜两三点接到客户打来的电话，就得马上帮客户去解决问题。因为每一分钟的效率都关系到客户的利益，提前一分钟把机器恢复起来对客户来说都是好的，所以需要我们快速地去响应客户的需求。我们努力关爱员工，在更高层面上也对行业充满敬畏与责任感。我们认为，关注行业的未来比单纯追求商业利益更加重要。”

“我们关心的是行业长远健康发展，我们的商业利益不是首位的。从财务状况可见，ASML的盈利水平仅为行业的平均水平。我们并没有追求要赚到更多的钱，而是更关注解决技术挑战，因为如果我们不采取行动，整个行业可能会受到影响。我们深感责任重大，正在努力推进技术进步以支持整个半导体行业发展，即便这个过程很困难。”沈波表示。

过去五年，全球半导体产业经历了缺芯、缺设备、地缘博弈、经济衰退、消费电子需求减弱等多个叠加的复杂环境因素，ASML又身处芯片行业中的核心领域，持续面临着挑战与机遇。

据新华社，美国商务部于10月17日发布了对华半导体出口管制最终规则，进一步加严对人工智能相关芯片、半导体制造设备的对华出口限制。

当被问及相关话题时，沈波坦言，“现在对于新的出口管制政策，我们还在研究中。总体来看，如果以今年我们在中国的业务为基础，明年的业务大概会受到10%-15%的影响。中国明年的市场需求还是蛮旺盛的。短期内我们感觉应该对总体业务量不会有太大影响。从公司角度，到2030年，行业整体趋势一直起伏性增长，所以对公司销售的总体趋势不会有太大的改变。”

具体来说，因受到外部影响导致明年无法继续供应的产品，将约占ASML中国区业务销售比重的10%-15%。

“我们只有部分浸润式产品明年会被放到出口管制的范围，并不是所有的。即使有了新的出口管制，我们还有非常大的一块浸润式的业务在中国。”沈波补充称。

“芯片这个行业的发展到现在已经超过60年了，从集成电路发明到现在，一直沿着自己的规律在往前走。如果我们去看中国这个产业里面最有影响的地方在哪？可以从不同终端市场来看。”目前，中国在家电和消费电子、新能源汽车、电力储能、多晶硅、太阳能电池和组件等终端领域发展迅速。

沈波称，“在我们看来，先进制程芯片从数量上讲是相对较小的，绝大多数是成熟制程芯片。我觉得，对于中国来讲，这么大终端市场需求推动下，把成熟制程芯片做到非常具有竞争力的水平，对半导体行业来讲是最高效的，可以达到一个事半功倍的效果，有助于提高投入产出比。”

沈波对钛媒体App表示，要提升中国成熟制程的全球竞争力，未来还需长期努力与产业链各环节的通力合作。“全球竞争力的提升是一个值得思考和努力的方向。”

“中国市场就像一个缩小的全球市场，很多样化，拥有各种客户和产品。”沈波强调，ASML的服务不仅限于机器的维修和维护，更在于帮助客户充分利用设备并优化工艺流程，且根据工艺需求与客户合作进行调整和优化。ASML对所有客户而言，很大的附加值是帮客户把机器用得好。“我们的服务范围远远超过维修这个范畴，包括与客户技术人员合作以改进和开发工艺。”沈波总结道。

过去几年，ASML每年DUV设备供应的能力达200台左右。沈波透露，到2023年，DUV设备制造产能应该能达到300多台，但供应缺口仍然很大。近年来，公司积极和供应商沟通，以期在配合和协作下，确保顺利地响应、满足2025年底的600台设备的目标产能。

“如果各个方面都配合得完美无缺，我们在2025年底或是2026年初，就能具备每年500-600台之间的DUV设备制造产能。”沈波坦率地表示，如果中间发生一些不顺利的事情，这个时间点还会晚一点。

沈波强调，如果2025年行业需求迅猛增长的话，对公司来说还将是“加油干”的一年。

（作者｜林志佳）