英特尔拿到的ASML高数值孔径EUV已投入生产
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【英特尔拿到的ASML高数值孔径EUV已投入生产】《科创板日报》25日讯，英特尔周一表示，去年率业界之先接收的两台ASML高数值孔径极紫外光EUV已投入生产。英特尔资深总工程师卡森表示，ASML这两台尖端机器已生产了3万片晶圆。
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